河南通用智能装备有限公司闫兴获国家专利权
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龙图腾网获悉河南通用智能装备有限公司申请的专利晶圆裂片移膜机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114420609B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210105308.7，技术领域涉及：H10P72/78；该发明授权晶圆裂片移膜机构是由闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊设计研发完成，并于2022-01-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆裂片移膜机构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆裂片移膜机构，所述晶圆移膜机构包括上下移动的上吸附装置和水平移动的下移动吸盘，下移动吸盘沿着复合膜的移动方向往复运动，使得下移动吸盘带着PE膜移动。上吸附装置和下移动吸盘不间断地控制复合膜移动。本发明公开了一种晶圆裂片移膜机构，贴膜机构通过移动吸附装置将切割完成后的PE膜贴在晶圆上，并且贴膜机构中的辊压机构能够将PE膜贴的更加牢固。
本发明授权晶圆裂片移膜机构在权利要求书中公布了：1.晶圆裂片移膜机构，其特征在于，移膜机构包括上下移动的上吸附装置和水平移动的下移动吸盘，下移动吸盘沿着复合膜的移动方向往复运动，使得下移动吸盘带着PE膜移动，上吸附装置和下移动吸盘不间断地控制复合膜移动；所述复合膜包括PE膜和离型膜；所述上吸附装置通过可调压力式移动座由垂直伺服模组带动上下移动，上吸附装置下移，使上吸附装置与下移动吸盘同时对复合膜吸附；下移动吸盘带动复合膜移动到切膜位，切膜完成后，切割完成后的复合膜依然稳固的处于下移动吸盘上，复合膜在移膜机构的作用下继续运输，将带有圆形PE膜的复合膜移动至贴膜机构处；上吸附装置上移，下移动吸盘复位，上吸附装置下移，使得上吸附装置与下移动吸盘重新同时对复合膜进行吸附。
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