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龙图腾网获悉扬州大学申请的专利基于空间节约功能复合的晶圆清洗干燥检测集成装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114388406B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111586504.2，技术领域涉及：H10P70/00；该发明授权基于空间节约功能复合的晶圆清洗干燥检测集成装置是由孙进;梁立;马昊天;雷震霆设计研发完成，并于2021-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于空间节约功能复合的晶圆清洗干燥检测集成装置在说明书摘要公布了：本发明公开了基于空间节约功能复合的晶圆清洗干燥检测集成装置，包括机身、晶圆干燥机构、超声波清洗机构、晶舟摆臂机构、晶舟翻转机构、晶圆检测机构和干燥水箱；晶圆干燥机构和超声波清洗机构并列安装在机身上，晶舟摆臂机构安装在机身上，晶舟翻转机构安装在晶圆干燥机构上；晶圆检测机构设置在机身的台面上，干燥水箱设置在机身上。本发明基于模块化设计，将三种工艺集成在一个机器上，实现了全程自动化动作，避免了人工的接触，减少了搬运。

本发明授权基于空间节约功能复合的晶圆清洗干燥检测集成装置在权利要求书中公布了：1.一种基于空间节约功能复合的晶圆清洗干燥检测集成装置，其特征在于，包括机身1、晶圆干燥机构2、超声波清洗机构3、晶舟摆臂机构4、晶舟翻转机构5、晶圆检测机构6和干燥水箱7；所述晶圆干燥机构2和超声波清洗机构3并列安装在机身1上，所述晶舟摆臂机构4安装在机身1上，所述晶舟翻转机构5安装在晶圆干燥机构2上；所述晶圆检测机构6设置在机身1的台面上，所述干燥水箱7设置在机身1上； 所述晶舟摆臂机构4包括连板41、旋转杆42、连杆43、提框44；所述连板41安装在机身1上，所述旋转杆42穿过连杆43实现旋转运动，所述提框44上端与连杆43进行销链接，所述提框44上设有两个坑位，用于放置晶舟； 所述晶舟翻转机构5包括导轨板51、滑板52、左夹爪53、丝杠机构54、右夹爪55、垫片56和圆柱导轨57；所述导轨板51后端连接安装在晶舟干燥机构2的架板上，能够进行上下移动；所述左夹爪53安装在导轨板51上，并且左夹爪53与滑板52之间安装有转轴，能够旋转90°进行晶舟的位姿转换；所述右夹爪55通过两根圆柱导轨57连接，并通过丝杠机构54进行合拢夹取晶舟； 所述超声波清洗机构3包括超声清洗水箱31、喷淋管33；所述超声清洗水箱31里面安装有超声装置32，所述喷淋管33安装在超声清洗水箱31的两边； 工作时，将两个晶舟8放在晶舟摆臂机构4上，随后晶舟8会先送入晶圆超声波清洗机构3内进行超声清洗，随后晶舟摆臂机构4将晶舟8带至晶圆干燥机构2的上方，此时晶圆干燥机构2的雾化器随之向左平移，接着晶舟翻转机构5将晶舟8抓起放入干燥水箱7内进行干燥；随后晶舟翻转机构5再将晶舟8抓起，并且旋转90°放在右侧晶圆检测机构6上进行检测。

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