ASM IP私人控股有限公司西胁和浩获国家专利权
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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利基板载体设备、基板处理设备以及调节基座温度的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111668153B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010146206.0，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权基板载体设备、基板处理设备以及调节基座温度的方法是由西胁和浩设计研发完成，并于2020-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板载体设备、基板处理设备以及调节基座温度的方法在说明书摘要公布了：一种基板处理设备的示例包括：基板载体设备，其包括轴、固定在轴上并配置为随着轴旋转而旋转的至少一个载体臂和固定在载体臂上的至少一个温度计；基座；加热器，其加热基座；温度调节器，其控制加热器；以及控制单元，其通过使载体臂靠近基座获取由温度计获得的基座的测量温度并控制温度调节器，该测量温度是表面温度。
本发明授权基板载体设备、基板处理设备以及调节基座温度的方法在权利要求书中公布了：1.一种基板载体设备，包括： 轴，用于设置在基板处理设备内； 至少一个载体臂，其固定在轴上并配置为随着轴旋转而旋转以在基板处理设备的基座的正上方穿过；以及 至少一个温度计，其固定在至少一个载体臂上； 其中，所述温度计暴露在所述载体臂的后表面上并从后表面突出，从而在所述至少一个温度计随着所述至少一个载体臂旋转的同时获得位于载体臂下方的基板处理设备的基座的测量温度。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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