安徽筠天自动化有限公司徐继光获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽筠天自动化有限公司申请的专利一种薄膜沉积用晶圆夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223816404U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520188389.0，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型一种薄膜沉积用晶圆夹具是由徐继光;段贵晨;杨青山设计研发完成，并于2025-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种薄膜沉积用晶圆夹具在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种薄膜沉积用晶圆夹具，属于晶圆夹具技术领域；包括：支架，支架的外壁开设有活动槽，支架的外壁固定装配有马达，马达的输出轴固定装配有双螺纹杆，双螺纹杆的外壁螺纹连接有移动架，移动架的外壁分别设有螺杆和限位杆，限位杆的外壁固定装配有握把，限位杆远离握把的一端转动连接有连接板；本实用新型通过设置的支架、活动槽、对接槽、本体、夹板结构，使得该夹具在使用过程中，使用者可通过夹板可移动的特性来对本体进行夹持，而在夹持过程中，夹板并未对本体的两个完整面作出任何阻隔，从而便于使用者对本体两个完整的面进行加工作业，进而提高了使用者对本体的加工精度。
本实用新型一种薄膜沉积用晶圆夹具在权利要求书中公布了：1.一种薄膜沉积用晶圆夹具，其特征在于，包括：支架1，所述支架1的外壁开设有活动槽2，所述支架1的外壁固定装配有马达3，所述马达3的输出轴固定装配有双螺纹杆4，所述双螺纹杆4的外壁螺纹连接有移动架5，所述移动架5的外壁分别设有螺杆6和限位杆8，所述限位杆8的外壁固定装配有握把12，所述限位杆8远离握把12的一端转动连接有连接板13，所述连接板13的外壁抵触有弹簧7，所述弹簧7的外壁固定装配有夹板9，所述夹板9的外壁设有本体10，所述本体10的两端皆开设有对接槽11。
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