景德镇学院黄新华获国家专利权
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龙图腾网获悉景德镇学院申请的专利一种用于离子束刻蚀晶圆的冷却装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223815740U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423159581.1，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种用于离子束刻蚀晶圆的冷却装置是由黄新华设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于离子束刻蚀晶圆的冷却装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种用于离子束刻蚀晶圆的冷却装置，包括安装架、用于对晶圆进行冷却的冷却机构、在所述冷却机构上设置的控制模组，在所述安装架上设置的用于所述晶圆定位的若干定位杆、在至少一个所述定位杆上设置的限位机构以及在所述安装架与所述冷却机构之间设置的旋转机构；本实用新型通过分流管的设置可使氦气均匀分布的进入到置料台和旋转板形成的空间内，使置料台的温度分布的均匀，达到均匀且快速的将晶圆背面产生的温度带走，从而确保晶圆在离子束刻蚀等高精度加工过程中保持稳定的温度，其次通过氦气实现冷却，氦气作为一种惰性气体，对环境友好，同时其热传导性能优异，使得冷却过程更为高效，从而降低能耗。
本实用新型一种用于离子束刻蚀晶圆的冷却装置在权利要求书中公布了：1.一种用于离子束刻蚀晶圆的冷却装置，其特征在于，包括安装架、用于对晶圆进行冷却的冷却机构、在所述冷却机构上设置的控制模组，在所述安装架上设置的用于所述晶圆定位的若干定位杆、在至少一个所述定位杆上设置的限位机构以及在所述安装架与所述冷却机构之间设置的旋转机构； 所述冷却机构包括氦气供应器、在所述安装架上设置的置料台、在所述置料台侧壁上均匀间隔且连通设置的多个出气管，在所述置料台下部转动式连接的旋转板、在所述旋转板上设置的多个分流管、与每个所述分流管固定连接的分流盘、在所述分流盘上设置的旋转管以及在所述氦气供应器上设置的连接管，所述旋转板与所述置料台之间形成空间，所述连接管、所述旋转管、所述分流盘、所述分流管和所述空间依次连通，所述旋转管与所述连接管转动式连接，所述旋转机构用于驱动所述分流盘进行旋转。
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