青岛微弘设备技术有限公司牛新海获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛微弘设备技术有限公司申请的专利一种扩散氧化炉的载片装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223814946U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423302614.3，技术领域涉及：F27B17/00；该实用新型一种扩散氧化炉的载片装置是由牛新海设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种扩散氧化炉的载片装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及扩散氧化技术领域，尤其是涉及一种扩散氧化炉的载片装置，包括框架和回型网孔载板，回型网孔载板转动连接于框架内；回型网孔载板内中部固定有载片板，载片板上开有若干个下定位槽，且载片板前后方均设有夹板，夹板内侧均固定有若干块从左至右依次排布的定位块，定位块内侧均开有侧定位槽，定位槽内壁的左右两侧均开有收缩槽，收缩槽内均相接有回力弹簧，回力弹簧端部均相接有滑动连接于收缩槽内的弧形滑块，弧形滑块内侧均转动连接有位于侧定位槽内的滚珠；本实用新型利于通过该载片装置装载其它批次大小的硅片，有效保证了该载片装置的适用性，且利于使硅片的氧化扩散更加均匀。
本实用新型一种扩散氧化炉的载片装置在权利要求书中公布了：1.一种扩散氧化炉的载片装置，包括框架1和回型网孔载板2，所述回型网孔载板2转动连接于框架1内，其特征在于： 所述回型网孔载板2内中部固定有载片板3，所述载片板3上开有若干个下定位槽14，且载片板3前后方均设有夹板4，所述夹板4内侧均固定有若干块从左至右依次排布的定位块7，所述定位块7内侧均开有侧定位槽8，所述侧定位槽8内壁的左右两侧均开有收缩槽10，所述收缩槽10内均相接有回力弹簧11，所述回力弹簧11端部均相接有滑动连接于收缩槽10内的弧形滑块12，所述弧形滑块12内侧均转动连接有位于侧定位槽8内的滚珠13，所述回型网孔载板2上端的前后部均设有夹紧调节组件； 所述框架1内右壁固定有隔热罩15，所述隔热罩15内设有旋转驱动组件。
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