亦亨电子(上海)有限公司孙晓光获国家专利权
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龙图腾网获悉亦亨电子(上海)有限公司申请的专利一种晶圆传送用机械臂获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223812093U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520426055.2，技术领域涉及：B25J11/00；该实用新型一种晶圆传送用机械臂是由孙晓光;邱正利;孙涛;吴中;毛世成设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆传送用机械臂在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆传送用机械臂，包括呈U型设置的支撑架；还包括在支撑架的一侧活动平移的活动臂，所述支撑架与活动臂之间连接有传送组件，用于对活动臂进行驱动；所述活动臂的末端安装有电动推杆，所述电动推杆的底部输出端设有连接架，所述连接架的底部安装有固定块，所述固定块的侧壁上呈环状等距设有多组侧板，所述侧板的底部活动有夹爪，所述固定块的内部设有驱动槽，所述驱动槽内设有驱动组件，用于对夹爪进行驱动，所述固定块的底壁上安装有吸盘。本实用新型属于晶圆加工技术领域，具体是指一种晶圆传送用机械臂。
本实用新型一种晶圆传送用机械臂在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传送用机械臂，包括呈U型设置的支撑架1；其特征在于： 还包括在支撑架1的一侧活动平移的活动臂2，所述支撑架1与活动臂2之间连接有传送组件3，用于对活动臂2进行驱动； 所述活动臂2的末端安装有电动推杆4，所述电动推杆4的底部输出端设有连接架5，所述连接架5的底部安装有固定块6，所述固定块6的侧壁上呈环状等距设有多组侧板7，所述侧板7的底部活动有夹爪8，所述固定块6的内部设有驱动槽9，所述驱动槽9内设有驱动组件10，用于对夹爪8进行驱动，所述固定块6的底壁上安装有吸盘11。
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