芯禾科技(江苏)有限公司严彬获国家专利权
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龙图腾网获悉芯禾科技(江苏)有限公司申请的专利一种便于清洗的半导体喷淋盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223811173U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423183035.1，技术领域涉及：B05B15/65；该实用新型一种便于清洗的半导体喷淋盘是由严彬;秦铭洲设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种便于清洗的半导体喷淋盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种便于清洗的半导体喷淋盘，涉及半导体喷淋盘领域，包括喷淋盘主体，所述喷淋盘主体的顶部固定连接有安装套，所述安装套的内部开设有螺纹孔，所述喷淋盘主体的顶部固定连接有插管，所述插管的外壁安装有注液管，所述注液管的外壁固定连接有固定架，所述固定架的内部安装有螺栓，通过转动螺栓，可以使螺栓从螺纹孔内移出，使安装套解除限位，向下拉动喷淋盘主体，使插管总注液管内移出，起到便于对喷淋盘主体进行拆卸清洗的效果，通过喷淋盘主体的外壁固定连接有氧化铝涂层，可以提升喷淋盘主体的耐高温性能，通过氧化铝涂层的外壁固定连接有PTFE涂层，可以提升喷淋盘主体的耐腐蚀性能，从而提升喷淋盘主体的使用寿命。
本实用新型一种便于清洗的半导体喷淋盘在权利要求书中公布了：1.一种便于清洗的半导体喷淋盘，包括喷淋盘主体1，其特征在于：所述喷淋盘主体1的顶部固定连接有安装套2，所述安装套2的内部开设有螺纹孔3，所述喷淋盘主体1的顶部固定连接有插管4，所述插管4的外壁安装有注液管5，所述注液管5的外壁固定连接有固定架6，所述固定架6的内部安装有螺栓7； 所述注液管5的内壁安装有第一密封圈8，所述注液管5的内壁安装有第二密封圈9； 所述喷淋盘主体1的外壁固定连接有氧化铝涂层10，所述氧化铝涂层10的外壁固定连接有PTFE涂层11。
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