无锡芯卓湖光半导体有限公司吴恬宇获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡芯卓湖光半导体有限公司申请的专利外延设备排气系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223810938U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423314105.2，技术领域涉及：B01D53/18；该实用新型外延设备排气系统是由吴恬宇;鞠巍巍设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本外延设备排气系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种外延设备排气系统。外延设备排气系统包括：第一洗涤器、第二洗涤器、第三洗涤器；外延设备，包括第一工艺腔、第二工艺腔和传送腔；第一工艺腔包括第一废气出口和第一清洗气出口，第二工艺腔包括第二废气出口和第二清洗气出口，第一废气出口通过第一管路连接至第一洗涤器，第二废气出口通过第二管路连接至第二洗涤器，第一清洗气出口和第二清洗气出口同时通过第三管路连接至第三洗涤器；输气装置，与第一管路、第二管路和第三管路中均连接，用于向第一管路、第二管路和第三管路输送防堵塞气体。输气装置管路通入防堵塞气体，避免管路堵塞，从而有延长管路系统的使用寿命，减少维护和清理的频率，提升整体生产效率。
本实用新型外延设备排气系统在权利要求书中公布了：1.一种外延设备排气系统，其特征在于，所述外延设备排气系统包括： 第一洗涤器、第二洗涤器、第三洗涤器； 外延设备，所述外延设备包括第一工艺腔、第二工艺腔和传送腔，所述传送腔与所述第一工艺腔和第二工艺腔相通；所述第一工艺腔包括第一废气出口和第一清洗气出口，所述第二工艺腔包括第二废气出口和第二清洗气出口，所述第一废气出口通过第一管路连接至所述第一洗涤器，所述第二废气出口通过第二管路连接至所述第二洗涤器，所述第一清洗气出口和所述第二清洗气出口同时通过第三管路连接至所述第三洗涤器； 输气装置，与所述第一管路、所述第二管路和所述第三管路中均连接，用于向所述第一管路、所述第二管路和所述第三管路输送防堵塞气体。
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