山东有研艾斯半导体材料有限公司潘世林获国家专利权
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龙图腾网获悉山东有研艾斯半导体材料有限公司申请的专利一种硅片槽式清洗机泵前过滤器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223810851U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520150344.4，技术领域涉及：B01D29/03；该实用新型一种硅片槽式清洗机泵前过滤器是由潘世林;王占滨;梁鹏飞;于兴瑞;陈信;邵秋生设计研发完成，并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片槽式清洗机泵前过滤器在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种硅片槽式清洗机泵前过滤器。该泵前过滤器的主体部分包括前端壳体、后端壳体、一次滤网、二次滤网、锁母及垫片；其中，前端壳体与后端壳体螺纹连接，一次滤网和二次滤网同向安装在壳体内部，一次滤网靠近前端壳体，二次滤网靠近后端壳体，垫片安装在前端壳体与后端壳体之间；前端壳体连接进液管路，并由锁母锁紧；后端壳体连接出液管路，并由锁母锁紧。本实用新型结构简单、安装及清理便捷，可有效避免因碎硅片进入槽位循环管路造成的循环泵损坏问题，防止出现损失扩大，甚至停机减产的问题，保障生产。
本实用新型一种硅片槽式清洗机泵前过滤器在权利要求书中公布了：1.一种硅片槽式清洗机泵前过滤器，其特征在于，该泵前过滤器的主体部分包括前端壳体、后端壳体、一次滤网、二次滤网、锁母及垫片；其中， 前端壳体与后端壳体螺纹连接，一次滤网和二次滤网同向安装在壳体内部，一次滤网靠近前端壳体，二次滤网靠近后端壳体，垫片安装在前端壳体与后端壳体之间； 前端壳体连接进液管路，并由锁母锁紧；后端壳体连接出液管路，并由锁母锁紧。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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