武汉衡惯科技发展有限公司黄晟获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉衡惯科技发展有限公司申请的专利一种MEMS三轴传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120970638B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511502020.3，技术领域涉及：G01C21/16；该发明授权一种MEMS三轴传感器是由黄晟;魏晓莉;蔡光艳;罗戴钟;丁铮;蔡喜元;王兵权设计研发完成，并于2025-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS三轴传感器在说明书摘要公布了：本发明提供了一种MEMS三轴传感器，包括基底、第一质量块、第二质量块、X轴检测电容组件、Y轴检测电容组件和Z轴检测电容组件，所述第一质量块和第二质量块通过支撑梁支撑于基底上，X轴检测电容组件通过第二振动弹性件嵌套于第一质量块内部，Y轴检测电容组件通过第三振动弹性件嵌套于第二质量块内部，Z轴检测电容组件设置于第一质量块和第二质量块对应的基底上。该发明通过在同一个基底上排布三个电容检测结构，实现XYZ轴三个方向运动检测，且各方向之间检测互不干扰，这种集成的三轴传感器减小了器件面积，减小整体结构的尺寸以及最终封装尺寸，不同轴向之间工艺偏差小，不同轴向之间性能一致性高，提高了各个轴向检测的精度。
本发明授权一种MEMS三轴传感器在权利要求书中公布了：1.一种MEMS三轴传感器，其特征在于：包括基底、第一质量块、第二质量块、X轴检测电容组件、Y轴检测电容组件和Z轴检测电容组件，所述第一质量块和第二质量块通过支撑梁支撑于所述基底上，且所述第一质量块和第二质量块之间连接第一振动弹性件，所述X轴检测电容组件通过第二振动弹性件嵌套于所述第一质量块内部，所述Y轴检测电容组件通过第三振动弹性件嵌套于所述第二质量块内部，所述Z轴检测电容组件位于所述第一质量块和第二质量块对应的基底上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人武汉衡惯科技发展有限公司，其通讯地址为：430206 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号武汉未来科技城龙山创新园一期B3栋10楼1131(自贸区武汉片区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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