武汉衡惯科技发展有限公司黄晟获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉衡惯科技发展有限公司申请的专利一种三轴MEMS惯性传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120970637B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511501915.5，技术领域涉及：G01C21/16；该发明授权一种三轴MEMS惯性传感器是由黄晟;魏晓莉;蔡光艳;罗戴钟;丁铮;蔡喜元;王兵权设计研发完成，并于2025-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种三轴MEMS惯性传感器在说明书摘要公布了：本发明提供了一种三轴MEMS惯性传感器，包括基底、第一质量块、第二质量块、X轴检测电容组件、Y轴检测电容组件和Z轴检测电容组件，第一质量块和第二质量块通过支撑梁支撑于基底上，X轴检测电容组件通过第二振动弹性件嵌套于第一质量块内部，Y轴检测电容组件包括Y轴检测框架和至少两个Y轴检测极板，Y轴检测框架嵌套于第二质量块内部，Y轴检测极板连接于基底上，且Y轴检测框架在基底上的投影部分覆盖Y轴检测极板，Z轴检测电容组件置于第一质量块和第二质量块对应的基底上。该发明通过在同一个基底上排布三个电容检测结构，实现XYZ轴三个方向运动检测，且各方向之间检测互不干扰，减小了器件尺寸，提高了各个轴向检测精度。
本发明授权一种三轴MEMS惯性传感器在权利要求书中公布了：1.一种三轴MEMS惯性传感器，其特征在于：包括基底、第一质量块、第二质量块、X轴检测电容组件、Y轴检测电容组件和Z轴检测电容组件，所述第一质量块和第二质量块通过支撑梁支撑于所述基底上，且所述第一质量块和第二质量块之间连接第一振动弹性件，所述X轴检测电容组件通过第二振动弹性件嵌套于所述第一质量块内部，所述Y轴检测电容组件包括Y轴检测框架和至少两个Y轴检测极板，所述Y轴检测框架嵌套于所述第二质量块内部，所述Y轴检测极板连接于所述基底上，且所述Y轴检测框架在所述基底上的投影部分覆盖所述Y轴检测极板，所述Z轴检测电容组件设置于所述第一质量块和第二质量块对应的基底上。
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