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龙图腾网获悉西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)申请的专利一种小体积高精度的蓝膜晶圆平台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120824250B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511341593.2，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权一种小体积高精度的蓝膜晶圆平台是由王鹏程;崔海龙;曹国斌;田芳;司志宁;王瑞鹏;刘红雨;李伟设计研发完成，并于2025-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种小体积高精度的蓝膜晶圆平台在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种小体积高精度的蓝膜晶圆平台，包括基台、Y轴运动平台、X轴运动平台、旋转轴环、转动平台、张紧转接板、蓝膜顶盘、蓝膜卡盘、压紧机构和挡块。该平台通过电机丝杠驱动组件实现Y轴和X轴方向的精确移动，通过旋转驱动源实现旋转轴环的旋转，并通过螺旋带轮和螺旋丝杠实现蓝膜的张力控制，从而实现蓝膜晶圆的高精度定位和紧绷平整。本发明具有体积小、精度高、效率高、蓝膜张力控制等优点，可应用于高精度装片机等半导体制造设备，解决了传统蓝膜晶圆平台体积大、精度低、依赖人工操作的核心痛点，显著提升了封装效率、良率及工艺适应性，为半导体先进封装技术提供了高效可靠的核心模块支撑。

本发明授权一种小体积高精度的蓝膜晶圆平台在权利要求书中公布了：1.一种小体积高精度的蓝膜晶圆平台，其特征在于，包括： 基台，其水平设置； Y轴运动平台，其沿Y轴方向滑动连接于所述基台的顶部，所述Y轴运动平台连接有用于驱动其滑动的第一电机丝杠驱动组件； X轴运动平台，其沿X轴方向滑动连接于所述Y轴运动平台的顶部，所述X轴运动平台连接有用于驱动其滑动的第二电机丝杠驱动组件； 旋转轴环，其转动连接于所述X轴运动平台上，所述旋转轴环的轴线沿Z轴方向延伸，且所述旋转轴环连接有用于驱动其转动的第一旋转驱动源； 转动平台，其同轴连接于所述旋转轴环上，所述转动平台上转动设置有多个螺旋带轮，所述螺旋带轮上均同轴连接有一根沿Z轴方向延伸的螺旋丝杠，且所述转动平台上设置有用于驱动所述螺旋带轮同步转动的第二旋转驱动源； 张紧转接板，其同轴设置于转动平台的顶部并与各所述螺旋丝杠螺纹连接； 蓝膜顶盘，其同轴设置于所述张紧转接板的顶部； 蓝膜卡盘，其设置有两组，所述蓝膜卡盘均包括底座、卡板和滚轮，两所述底座沿Y轴方向对称设置于转动平台并分别位于蓝膜顶盘的两侧，所述底座的顶部均设置有一个延伸至蓝膜顶盘上方的所述卡板，且两所述底座相对的一侧均对称设置有至少两个所述滚轮。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)，其通讯地址为：030024 山西省太原市万柏林区和平南路115号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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