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信利光电股份有限公司周伟杰获国家专利权

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龙图腾网获悉信利光电股份有限公司申请的专利一种多层薄膜厚度的控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119615101B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411577135.4,技术领域涉及:C23C14/54;该发明授权一种多层薄膜厚度的控制方法是由周伟杰;王伟士设计研发完成,并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

一种多层薄膜厚度的控制方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种多层薄膜厚度的控制方法,其基于真空镀膜机,真空镀膜机包括蒸发系统、伞架及位于所述蒸发系统与伞架之间的修正版;修正版包括第一修正版、第二修正版和第三修正版;主要包括:先将基板玻璃产品放置在夹具中,再将夹具放在伞架的镂空处,启动蒸发源,将电子束打入镀膜料中,使镀膜料被电子束蒸发后穿过第一修正版沉积到基板玻璃产品的表面,之后关闭蒸发系统的蒸发源以完成第一次镀膜;再用第二修正版替换掉第一修正版,进行第二次镀膜;最后用第三修正版替换掉第二修正版,进行第三次镀膜。本发明构思合理,流程简单,能有效控制产品镀膜的均匀性,显著提高产品的性能和良品率,镀膜料损耗低,可以满足精度更高的镀膜产品。

本发明授权一种多层薄膜厚度的控制方法在权利要求书中公布了:1.一种多层薄膜厚度的控制方法,基于真空镀膜机,所述真空镀膜机包括蒸发系统、匹配位于所述蒸发系统正上方的伞架以及匹配位于所述蒸发系统与伞架之间的修正板;所述修正板包括第一修正板、第二修正板和第三修正板;其特征在于,主要包括以下步骤: 1先将基板玻璃产品放置在所述真空镀膜机的夹具中,再将所述夹具放在所述伞架的镂空处,启动蒸发系统的蒸发源,将电子束打入镀膜料中,使镀膜料被电子束蒸发后穿过所述第一修正板沉积到基板玻璃产品的表面,之后关闭蒸发系统的蒸发源,以完成第一次镀膜; 2用所述第二修正板替换掉第一修正板,且所述第二修正板的边缘相对于所述第一修正板的边缘往里凹,再次启动蒸发系统的蒸发源,将电子束打入镀膜料中,使镀膜料被电子束蒸发后穿过所述第二修正板再次沉积到基板玻璃产品的表面,之后关闭蒸发系统的蒸发源,以完成第二次镀膜; 3用所述第三修正板替换掉所述第二修正板,且所述第三修正板的边缘相对于所述第二修正板的边缘往里凹,再次启动蒸发系统的蒸发源,将电子束打入镀膜料中,使镀膜料被电子束蒸发后穿过所述第三修正板再次沉积到基板玻璃产品的表面,之后关闭蒸发系统的蒸发源,以完成第三次镀膜。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人信利光电股份有限公司,其通讯地址为:516600 广东省汕尾市城区工业大道信利工业城一区第15栋;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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