株式会社荏原制作所富田正辉获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利镀覆装置以及镀覆液排出方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119487241B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202380049777.4，技术领域涉及：C25D17/02；该发明授权镀覆装置以及镀覆液排出方法是由富田正辉设计研发完成，并于2023-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀覆装置以及镀覆液排出方法在说明书摘要公布了：本发明抑制因从阳极产生的气泡导致的镀覆不良的产生，并且使与镀覆液的供给有关的构造简化。镀覆模块400包括：镀覆槽410，其用于收容镀覆液；阳极430，其配置于镀覆槽410内；基板支架440，其构成为在使被镀覆面Wf‑a朝向下方的状态下保持基板Wf；隔膜420，其将配置有阳极430的阳极区域424和在镀覆处理时供基板Wf配置的阴极区域422分隔，隔膜具有与阳极430对置的倾斜面423a；供给口412，其用于向阳极区域424供给镀覆液；以及气液配管470，其具有在隔膜420的倾斜面423a的上端附近开口的第一端部472、和在比镀覆处理时的基板的被镀覆面靠上方开口的第二端部474，该气液配管构成为将从供给口412供给至阳极区域424的镀覆液经由第二端部474向阴极区域422供给。
本发明授权镀覆装置以及镀覆液排出方法在权利要求书中公布了：1.一种镀覆装置，其特征在于，包括： 镀覆槽，所述镀覆槽用于收容镀覆液； 阳极，所述阳极配置于所述镀覆槽内； 基板支架，所述基板支架构成为在使被镀覆面朝向下方的状态下保持基板； 隔膜，所述隔膜将配置有所述阳极的阳极区域和在镀覆处理时供基板配置的阴极区域分隔，所述隔膜具有与所述阳极对置的倾斜面； 供给口，所述供给口用于向所述阳极区域供给镀覆液；以及 气液配管，所述气液配管具有在所述隔膜的所述倾斜面的上端附近开口的第一端部、和在比镀覆处理时的基板的被镀覆面靠上方开口的第二端部，所述气液配管构成为将从所述供给口供给至所述阳极区域的镀覆液经由所述第二端部向所述阴极区域供给。
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