厦门大学高立波获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门大学申请的专利一种高湿度环境下氢气浓度测量的氢气传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118464976B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410602396.0，技术领域涉及：G01N25/20；该发明授权一种高湿度环境下氢气浓度测量的氢气传感器是由高立波;任子明;兰奕晖;薛晨阳;柴进;景俊民;张增星;吴贵荣设计研发完成，并于2024-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高湿度环境下氢气浓度测量的氢气传感器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高湿度环境下氢气浓度测量的氢气传感器，包括：功能部，包括依次叠加的第一薄膜层、电极层和硅基底；第一薄膜层为硅化合物薄膜，用于保护电极层；电极层用于根据气体中的热导率变化生成检测氢气浓度的检测信号；封装部，设有内电极和外电极，内电极与电极层相连接以接收电极层的检测信号，外电极与外部电路相连接以输出检测信号。本发明设有参比和补偿电阻，增加了传感器的检测精度和检测范围；通过结构设置使测量电阻丝充分接触周边空气，快速检测氢气浓度变化；采用多层保护膜和透气疏水膜，使得该传感器可稳定应用于高湿度环境下。
本发明授权一种高湿度环境下氢气浓度测量的氢气传感器在权利要求书中公布了：1.一种高湿度环境下氢气浓度测量的氢气传感器，其特征在于，包括： 功能部，包括依次叠加的第一薄膜层、电极层和硅基底；第一薄膜层为硅化合物薄膜，用于保护电极层；电极层用于根据气体中的热导率变化生成检测氢气浓度的检测信号； 封装部，设有内电极和外电极，内电极与电极层相连接以接收电极层的检测信号，外电极与外部电路相连接以输出检测信号； 所述电极层包含第一电阻和第二电阻，第一电阻用于加热并输出检测信号，第二电阻用于参比和补偿； 第一薄膜层在对应第一电阻的PAD区和第二电阻的PAD区的位置设有开口，电极层通过第一电阻的PAD区和第二电阻的PAD区连接封装部的内电极； 所述硅基底在对应第一电阻的位置通过深硅刻蚀成圆柱形悬空结构； 所述封装部包括第一封装层和第二封装层，第一封装层为设有进气孔的封装盖板，第二封装层为带有凹槽的封装基底，凹槽用于放置功能部； 第一封装层的进气孔上设有透气疏水薄膜。
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