买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉浙江亚笙半导体设备有限公司申请的专利一种加热吹扫装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118218332B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410143997.X，技术领域涉及：B08B9/032；该发明授权一种加热吹扫装置是由张丹;王涛;杨子威;王锐设计研发完成，并于2024-02-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种加热吹扫装置在说明书摘要公布了：一种加热吹扫装置，采用多个法兰盘来固定嵌套安装废气进气管和出气管，整体设计安装，结构紧凑，节省空间，采用法兰将废气进气管和出气管接入抽气泵与尾气处理设置之间的气体输送管道，无需另外添加配接管道，节省了成本，降低了操作难度。设置多个加热元件和气体加热空间对吹扫气体进行加热，提升了加热效率和加热可靠性，令吹扫气体在气体加热空间内从下至上围绕加热元件充分盘旋环绕，最大限度增加气体流动路径的长度，使吹扫气体与加热元件更充分的接触，充分发挥加热元件的加热功效，令吹扫气体被加热元件充分并均匀加热。采用废气进气管与出气管之间形成的环形间隙作为吹扫气体进入出气管的通道，无热量损耗，效率高，吹扫气体沿环形间隙进入出气管，使吹扫气体的进气方向与来自抽气泵的废气的进气方向一致，避免了气体相互扰动，进一步提高了吹扫效率，环形间隙形成负压发生器，来自抽气泵的废气在负压的吸力作用下被快速吸入出气管，极大地提高了气体流速，防止粉尘在管壁堆积，增强了吹扫清洁效果。

本发明授权一种加热吹扫装置在权利要求书中公布了：1.一种加热吹扫装置，其特征在于，包含：主体加热结构以及分别与所述主体加热结构连接的废气进气管，吹扫气进气管和出气管； 所述主体加热结构包含：两端通过第一法兰盘和第二法兰盘固定连接的外管，以及设置在所述外管内的第三法兰盘，所述第一法兰盘和所述第三法兰盘之间形成气体传输空间； 所述出气管的进气端依次穿过所述第二法兰盘上的第一安装孔和所述第三法兰盘上的第二安装孔，通过所述第二法兰盘和所述第三法兰盘固定连接所述出气管，所述出气管的出气端通过管路连接至尾气处理设备； 所述废气进气管的进气端通过管路连接至半导体制程设备的抽气泵的出气口，所述废气进气管的出气端穿过所述第一法兰盘上的第三安装孔后延伸入所述出气管的进气端，通过所述第一法兰盘固定连接所述废气进气管，所述废气进气管的外径小于所述出气管的内径，所述废气进气管的出气端与所述出气管的进气端之间形成环形间隙，以形成负压发生器； 所述主体加热结构内设置多个隔离片，所述隔离片沿周向设置在所述第二法兰盘和所述第三法兰盘之间，相邻的两个所述隔离片与所述出气管的外壁、所述外管的内壁、所述第三法兰盘的下表面和所述第二法兰盘的上表面共同组成气体加热空间，或共同组成气体扩散空间，所述气体加热空间与所述气体扩散空间相邻设置； 所述吹扫气进气管的进气端通过管路连接至吹扫气源，所述吹扫气进气管的出气端通过所述第二法兰盘上的连接孔与所述气体加热空间连通； 所述气体加热空间内设置加热元件； 所述隔离片上设置多个第一通气孔，所述第一通气孔连通所述气体加热空间和所述气体扩散空间； 所述第三法兰盘上设置多个第二通气孔，所述第二通气孔位于所述气体扩散空间处，所述第二通气孔连通所述气体扩散空间和所述气体传输空间。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江亚笙半导体设备有限公司，其通讯地址为：314116 浙江省嘉兴市嘉善县魏塘街道魏中路1号7栋厂房一层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。