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龙图腾网获悉济南晶正电子科技有限公司申请的专利一种X切铌酸锂晶圆正反面判定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116794108B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310759385.9，技术领域涉及：G01N27/00；该发明授权一种X切铌酸锂晶圆正反面判定方法是由贾斌;李真宇;张秀全;卢桂杰;薛海蛟;胡卉设计研发完成，并于2023-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种X切铌酸锂晶圆正反面判定方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种X切铌酸锂晶圆正反面判定方法，将X切铌酸锂晶圆的Y轴沿着X切铌酸锂晶圆的Z轴轴心旋转α角度后夹在X切铌酸锂晶圆正反面判定装置的上测试探头和下测试探头之间；利用X切铌酸锂晶圆正反面判定装置中的电磁驱动器在X切铌酸锂晶圆上施加低频交变力，X切铌酸锂晶圆产生交变电荷，测量获得X切铌酸锂晶圆的被测输出电压；利用X切铌酸锂晶圆的被测输出电压，计算获得X切铌酸锂晶圆的纵向压电应变常数；基于X切铌酸锂晶圆的纵向压电应变常数，判定X切铌酸锂晶圆的正反面状态，正反面状态为X切铌酸锂晶圆的+X面朝上或X切铌酸锂晶圆的‑X面朝上，本方法可以成功识别X切铌酸锂晶圆的正反面。

本发明授权一种X切铌酸锂晶圆正反面判定方法在权利要求书中公布了：1.一种X切铌酸锂晶圆正反面判定方法，其特征在于，包括： 将X切铌酸锂晶圆的Y轴沿着X切铌酸锂晶圆的Z轴轴心旋转α角度后夹在X切铌酸锂晶圆正反面判定装置的上测试探头51和下测试探头52之间，X切铌酸锂晶圆正反面判定装置包括电磁驱动器1、比较振子电极2、绝缘柱4和测试探头5，测试探头5包括上测试探头51和位于上测试探头51下方的下测试探头52，下测试探头52通过绝缘柱4固定连接比较振子电极2； 利用X切铌酸锂晶圆正反面判定装置中的电磁驱动器1在X切铌酸锂晶圆上施加低频交变力，X切铌酸锂晶圆产生交变电荷，测量获得X切铌酸锂晶圆的被测输出电压； 利用X切铌酸锂晶圆的被测输出电压，计算获得X切铌酸锂晶圆的纵向压电应变常数； 基于X切铌酸锂晶圆的纵向压电应变常数，判定X切铌酸锂晶圆的正反面状态，正反面状态为X切铌酸锂晶圆的+X面朝上或X切铌酸锂晶圆的-X面朝上，其中，若X切铌酸锂晶圆的纵向压电应变常数d33为正值，则判定X切铌酸锂晶圆的+X面朝上，若X切铌酸锂晶圆的纵向压电应变常数d33为负值，则判定X切铌酸锂晶圆的-X面朝上。

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