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龙图腾网获悉华侨大学申请的专利蓝宝石晶片衬底的磨盘装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116652811B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310654767.5，技术领域涉及：B24B37/005；该发明授权蓝宝石晶片衬底的磨盘装置是由方从富;鲍中宇;魏绍鹏;程蔚设计研发完成，并于2023-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本蓝宝石晶片衬底的磨盘装置在说明书摘要公布了：本发明公开了蓝宝石晶片衬底的磨盘装置，信号采集模块采集研磨盘的研磨力信号并将信号传递至控制模块，所述控制模块将采集到的研磨力值F1与预设力值F0进行比较，计算出研磨力值F1与预设力值F0的偏差值E，则：若偏差值E小于0，所述控制模块控制执行模块执行加压指令，以使研磨盘的研磨力增大；若偏差值E等于0，所述控制模块不对执行模块发布指令，以使研磨盘的研磨力保持不变；若偏差值E大于0，所述控制模块控制执行模块执行减压指令，以使研磨盘的研磨力减小。该磨盘装置可确保每个研磨盘的研磨力保证稳定不变，以保证磨盘内外研磨力的均匀性。且，该磨盘装置更加适合大尺寸磨盘，对衬底的研磨均匀性更佳。

本发明授权蓝宝石晶片衬底的磨盘装置在权利要求书中公布了：1.蓝宝石晶片衬底的磨盘装置，其特征在于：它包括： 机台； 基体盘，其转动装接在机台上，其设有若干个呈阵列式布置的安装腔体； 若干个执行模块，每一执行模块分别安装在对应的安装腔体内； 若干个信号采集模块，每一个信号采集模块分别安装在对应的执行模块上； 若干个研磨盘，每一个研磨盘分别安装在对应的信号采集模块上； 控制模块，其与执行模块、信号采集模块信号连接； 所述信号采集模块采集研磨盘的研磨力信号并将信号传递至控制模块，所述控制模块将采集到的研磨力值F1与预设力值F0进行比较，计算出研磨力值F1与预设力值F0的偏差值E，则： 若偏差值E小于0，所述控制模块控制执行模块执行加压指令，以使研磨盘的研磨力增大； 若偏差值E等于0，所述控制模块不对执行模块发布指令，以使研磨盘的研磨力保持不变； 若偏差值E大于0，所述控制模块控制执行模块执行减压指令，以使研磨盘的研磨力减小； 所述执行模块采用阻尼装置，该阻尼装置设置有升降盘，所述信号采集模块安装在升降盘上，所述控制模块可控制升降盘上下移动，以带动信号采集模块和研磨盘同步上下移动，进而增大或减小研磨盘的研磨力； 所述阻尼装置还包括阻尼壳体、阻尼块、阻尼杆和阻尼弹簧，所述阻尼壳体安装在安装腔体内，该阻尼壳体内部分隔成上阻尼腔和下空腔，所述上阻尼腔内填充有阻尼液，所述阻尼杆顶端穿过上阻尼腔后向上伸出，所述升降盘固接在阻尼杆顶端，所述阻尼块固接在阻尼杆上且位于上阻尼腔内，所述阻尼杆底端伸入至下空腔内，所述阻尼弹簧一端与阻尼杆相连接、另一端固接在阻尼壳体内底壁； 所述基体盘还设有安装槽，所述控制模块安装在安装槽内。

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