胜高股份有限公司草场辰己获国家专利权
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龙图腾网获悉胜高股份有限公司申请的专利晶圆支承舟、卧式热处理炉、晶圆的热处理方法及贴合晶圆的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116246973B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211498247.1，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权晶圆支承舟、卧式热处理炉、晶圆的热处理方法及贴合晶圆的制造方法是由草场辰己;铃木隆生;川崎悠平;森川靖之设计研发完成，并于2022-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆支承舟、卧式热处理炉、晶圆的热处理方法及贴合晶圆的制造方法在说明书摘要公布了：本发明的目的在于，提供能够抑制上述的各种欠陷的发生的晶圆支承舟及具有该晶圆支承舟的卧式热处理炉、使用该晶圆支承舟的晶圆的热处理方法及贴合晶圆的制造方法。本发明的晶圆支承舟是卧式热处理炉用的晶圆支承舟，容纳部由碳化硅构成，支承部由石英构成。本发明的卧式热处理炉具备上述的晶圆支承舟。本发明的晶圆的热处理方法包括用上述的晶圆支承舟进行热处理的热处理工序。本发明的贴合晶圆的制造方法包括基于上述的晶圆的热处理方法的热处理工序。
本发明授权晶圆支承舟、卧式热处理炉、晶圆的热处理方法及贴合晶圆的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆支承舟，前述晶圆支承舟用于卧式热处理炉，其特征在于， 前述晶圆支承舟具备：容纳部，容纳晶圆且具有底部、与前述底部连结而沿垂直方向上方延伸的侧部、与前述侧部连结而沿横向延伸的上部；支承部，被在前述容纳部的前述底部配置而支承晶圆， 前述支承部具有沿晶圆排列的方向延伸的支承部主体、从前述支承部主体向上方突出而沿前述支承部主体延伸的方向排列的多个突出部，借助相邻的两个前述突出部之间，配置晶圆的晶圆槽被区划形成， 前述容纳部整体由碳化硅构成， 前述支承部的前述支承部主体和前述突出部由石英构成。
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