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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利控制半导体设备分配顺序的方法及其装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116072567B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111302275.7，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权控制半导体设备分配顺序的方法及其装置是由王春阳;李振兴;汪玉明;王芳;陈三城;沈振华设计研发完成，并于2021-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本控制半导体设备分配顺序的方法及其装置在说明书摘要公布了：本公开实施例涉及半导体领域，提供一种控制半导体设备分配顺序的方法及其装置，方法包括：采集可进行预设工艺处理的所有腔室的数量和机台中每一射频器件实际工作时长；提供射频器件的理想工作时长以计算平均间隔；对所有数据进行排序处理以构成第一队列数据组，获取第一队列数据组中相邻数据的差值；相邻前后数据的差值为与前后数据中前一或后一数据对应的特征值，未与差值对应的数据本身为与数据对应的特征值；基于平均间隔和特征值获取第二队列数据组和第三队列数据组；基于第二队列数据组和第三队列数据组，获取将N个批次的晶圆分配给所有射频器件以进行预设工艺处理的分配顺序。本公开实施例至少有利于提高半导体设备产能的稳定性。

本发明授权控制半导体设备分配顺序的方法及其装置在权利要求书中公布了：1.一种控制半导体设备分配顺序的方法，所述半导体设备包括多个机台，每一所述机台具有至少一个腔室和与所述腔室一一对应的射频器件，其特征在于，包括： 在对N个批次的晶圆进行预设工艺处理前，采集可进行所述预设工艺处理的所有所述腔室的数量以及所有所述机台的数据，所述数据为所述机台中每一所述射频器件的实际工作时长； 提供所述射频器件的理想工作时长，并依据所述理想工作时长和所述数量计算平均间隔，所述理想工作时长为所述射频器件实际工作时长的上限值； 对所有所述数据进行排序处理，以构成第一队列数据组，且获取所述第一队列数据组中相邻所述数据的差值； 基于所述差值，获取与所述第一队列数据组中所述数据对应的特征值，相邻前后所述数据的所述差值作为与前后所述数据中前一或后一所述数据对应的所述特征值，未与所述差值对应的所述数据本身作为与所述数据对应的所述特征值； 基于所述平均间隔和所述特征值，获取第二队列数据组和第三队列数据组，所述第二队列数据组由小于所述平均间隔的所述特征值对应的所述数据排序构成，所述第三队列数据组由大于等于所述平均间隔的所述特征值对应的所述数据排序构成； 基于所述第二队列数据组和所述第三队列数据组，获取将N个批次的晶圆分配给所有所述射频器件以进行所述预设工艺处理的分配顺序。

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