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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115863205B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210877128.0，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置是由安武阳介;村元僚设计研发完成，并于2022-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置。在向旋转的基板9的下表面供给处理液来处理基板9的基板处理装置中，设置可分离地载置在下支承体21上的上支承体31、从上支承体31向下方突出的、用来把持基板9的多个上把持构件32、能够使上把持构件32与基板9的外缘部接触或者分离地移动上把持构件32的上把持驱动部33。优选地，上把持驱动部33利用把持侧磁性体331与环状的驱动侧磁性体332之间的磁力作用，移动上把持构件32。

本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其向基板供给处理液来处理所述基板，所述基板处理装置的特征在于，具备： 从上方将基板支承为水平姿势的上支承部； 与由所述上支承部支承的基板的下表面相对置的下支承部，所述上支承部可分离地载置在该下支承部上； 以沿着上下方向的中心轴为中心使所述下支承部旋转的旋转部；以及 处理液供给部，其向由所述上支承部支承的基板的下表面供给处理液， 所述上支承部具备： 与基板的上表面相对置的上支承体，其可分离地载置在所述下支承部上，与所述下支承部一并旋转； 多个上把持构件，其从所述上支承体向下方突出，通过与基板的外缘部相接来把持所述基板；以及 能够使所述多个上把持构件与基板的外缘部接触或者分离地移动所述多个上把持构件的上把持驱动部， 所述下支承部具备： 与基板的下表面相对置的下支承体； 多个下把持构件，其从所述下支承体向上方突出，通过与基板的外缘部相接来把持所述基板；以及 能够使所述多个下把持构件与基板的外缘部接触或者分离地移动所述多个下把持构件的下把持驱动部， 在向基板供给处理液的期间内，存在通过所述多个上把持构件把持所述基板且没有通过所述多个下把持构件把持所述基板的状态、以及通过所述多个下把持构件把持所述基板且没有通过所述多个上把持构件把持所述基板的状态。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都府；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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