应用材料公司P·A·克劳斯获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利具有多个嵌入式电极的基板支撑件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115799030B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211408065.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权具有多个嵌入式电极的基板支撑件是由P·A·克劳斯;T·C·楚;赵在龙设计研发完成，并于2018-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有多个嵌入式电极的基板支撑件在说明书摘要公布了：提供了一种用于在等离子体辅助处理腔室中将基板偏压的区域的方法和设备。将基板或基板的区域偏压增加了在基板与处理腔室中形成的等离子体之间的电位差，从而将来自等离子体的离子加速朝向基板区域的活性表面。在本文中的多个偏压电极以有利于管理跨越基板的处理结果的均匀性的图案的方式跨越基板支撑件而空间地布置。
本发明授权具有多个嵌入式电极的基板支撑件在权利要求书中公布了：1.一种基板处理系统，所述基板处理系统包括基板支撑组件，所述基板支撑组件包括： 金属基座，所述金属基座具有设置在其上的基板支撑件，所述基板支撑件包括多个电极，其中 所述多个电极中的每一个电极与所述基板支撑件的基板支撑表面通过第一介电材料层间隔开， 所述多个电极与所述金属基座通过第二介电材料层间隔开， 所述多个电极中的每一个电极与所述多个电极中的每个其他电极通过所述第二介电材料层的一部分隔离， 所述多个电极中的第一偏压电极电耦合至第一脉冲DC电压源， 所述多个电极中的第二偏压电极耦合至第二脉冲DC电压源， 所述多个电极中的所述第二偏压电极相对于所述第一偏压电极径向向外设置，且至少部分地围绕所述第一偏压电极，以及 所述多个电极中的第三夹持电极耦合至夹持功率供应，以用于将基板电夹持到所述基板支撑件的所述基板支撑表面，其中所述第一偏压电极和所述第二偏压电极中的每一个电极通过形成在所述第三夹持电极中的多个开口和通过所述第二介电材料层而与所述第三夹持电极电隔离。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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