南亚科技股份有限公司黄日正获国家专利权
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龙图腾网获悉南亚科技股份有限公司申请的专利晶圆容器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115440634B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110698360.3,技术领域涉及:H10P72/10;该发明授权晶圆容器是由黄日正设计研发完成,并于2021-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆容器在说明书摘要公布了:一种晶圆容器包括容器本体、支撑架、过滤单元、排气单元以及通气通道。支撑架平行排列于容器本体内。支撑架设置以放置晶圆。过滤单元设置于支撑架中的第一支撑架上并具有滤芯。排气单元设置于支撑架中的第二支撑架上并具有气体流通装置。通气通道连通过滤单元之滤芯以及排气单元。排气单元的气体流通装置设置于通气通道,以将气体从对应的排气通道注入或是将气体从对应的通气通道排出。如此,晶圆容器内部的气体能够流动,避免晶圆受内部气体污染而影响到良率。
本发明授权晶圆容器在权利要求书中公布了:1.一种晶圆容器,其特征在于,包括: 容器本体; 复数个支撑架,平行排列于该容器本体内,其中该些支撑架设置以放置复数个晶圆; 过滤单元,设置于该些支撑架中的第一支撑架上并具有滤芯; 排气单元,设置于该些支撑架中的第二支撑架上并具有气体流通装置;以及 二通气通道,分别连通该过滤单元的该滤芯以及该排气单元至该容器本体外,其中该排气单元的该气体流通装置设置于该二通气通道其中之一,以将气体注入对应的该通气通道或是将该气体从对应的该通气通道排出。
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