恩特格里斯公司M·A·富勒获国家专利权
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龙图腾网获悉恩特格里斯公司申请的专利用于衬底容器的歧管获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115244673B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180018717.7，技术领域涉及：H10P72/10；该发明授权用于衬底容器的歧管是由M·A·富勒;C·J·哈尔;I·迪特罗设计研发完成，并于2021-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于衬底容器的歧管在说明书摘要公布了：本发明揭示一种衬底容器，其包含界定内部空间的壳体及具有进口及气体分配表面的歧管。所述壳体包含前开口、底壁及后壁。所述歧管附接到所述底壁且更靠近所述前开口而非所述后壁。所述气体分配表面经配置以将净化气体分配到所述内部空间中。一种净化开口衬底容器的方法包含将净化气体的第一流供应到歧管及将净化气体的第二流供应到所述衬底容器的内部空间。所述方法还包含所述歧管将所述第一流的所述净化气体分配于所述衬底容器的所述内部空间内。
本发明授权用于衬底容器的歧管在权利要求书中公布了：1.一种衬底容器，其包括： 壳体，其界定内部空间，所述壳体包含前开口、第一侧壁、第二侧壁、后壁、底壁及沿所述壳体的所述前开口延伸于相对壁之间的前边缘；及 歧管，其附接到所述底壁、顶壁、所述第一侧壁及或所述第二侧壁，更靠近所述壳体的所述前开口而非所述后壁，所述歧管包含： 进口，其经配置以接收净化气体的流；及 气体分配部分，其包含经配置以将净化气体的所述流分配到所述内部空间中的气体分配表面，所述气体分配部分包含沿所述壳体的前边缘沿一个方向延伸于相对壁之间的所述气体分配表面，其中所述气体分配表面包含在所述相对壁之间沿所述气体分配表面的长度布置的多个开口，且其中所述气体分配表面包括多孔材料。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人恩特格里斯公司，其通讯地址为：美国马萨诸塞州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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