应用材料公司D·J·本韦格努获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利基于基板图像处理的膜非均匀性的像素和区域分类获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115100097B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210218508.3,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权基于基板图像处理的膜非均匀性的像素和区域分类是由D·J·本韦格努;N·莫达麦迪设计研发完成,并于2022-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于基板图像处理的膜非均匀性的像素和区域分类在说明书摘要公布了:对基板上的膜非均匀性进行分类的方法包括:获取基板的彩色图像,其中该彩色图像包括多个色彩通道;针对基板的彩色图像获取标准色;针对沿着彩色图像中的路径的每个相应像素,确定该相应像素的颜色与标准色之间的差分向量,以生成差分向量序列;并基于差分向量序列,包括将序列中的多个差分向量与阈值进行比较,来将沿着该路径的像素拣选到多个区域中,包括至少一个正常区域和至少一个异常区域。
本发明授权基于基板图像处理的膜非均匀性的像素和区域分类在权利要求书中公布了:1.一种非瞬态计算机可读介质,包括用于对基板上的膜非均匀性进行分类的计算机程序,所述计算机程序包含指令以使一台或多台计算机: 获取基板的彩色图像,所述彩色图像包括多个色彩通道; 确定所述彩色图像的所述多个色彩通道中的每个通道的强度直方图; 在每个相应直方图中选择峰值的强度; 将所述基板的所述彩色图像的标准色设置为具有与所述峰值的强度对应的值的元组; 针对沿着所述彩色图像中的路径的每个相应像素,确定所述相应像素的颜色与所述标准色之间的差分向量,以生成差分向量序列; 基于所述差分向量序列,通过将所述序列中的多个差分向量与阈值进行比较,将沿着所述路径的所述像素分类为正常或异常;并且 响应于所述像素被标识为正常或异常,将所述像素拣选到一个或多个区域中,所述多个区域包括至少一个正常区域和至少一个异常区域。
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