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龙图腾网获悉诺威有限公司申请的专利结合物理建模与机器学习获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114930117B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080092010.6，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权结合物理建模与机器学习是由巴瑞克·布兰欧利兹;拉恩·雅各比;奥弗·施拉格曼;博阿茨·斯特莱西设计研发完成，并于2020-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本结合物理建模与机器学习在说明书摘要公布了：提供了一种用于OCD计量的系统和方法，包括接收参考参数、接收多组测量散射数据、和接收设计为根据一组图案参数生成一组或多组模型散射数据的光学模型，以及通过在训练期间应用包括参考参数的目标特征以及通过应用包括测量散射数据集和模型散射数据集的输入特征来训练机器学习模型，使得训练后的机器学习模型从后续测量的散射数据集估算新的晶片图案参数。

本发明授权结合物理建模与机器学习在权利要求书中公布了：1.一种用于光学关键尺寸计量的方法，包括： 从多个相应的晶片图案接收多组参考参数，并从相应的多个晶片图案接收相应的多组测量散射数据； 接收光学模型，所述光学模型被设计为根据提供给所述光学模型的图案参数来计算模型散射数据，其中所述光学模型是根据物理定律来设计的；以及 训练机器学习模型，通过在所述训练期间应用包括所述多组参考参数的目标特征以及通过应用包括所述多组测量散射数据和所述模型散射数据的输入特征来训练，这样，所述训练机器学习模型可以从随后测量散射数据中估计新的晶体图案参数， 其中所述光学模型被进一步设计为执行从一组散射数据计算模型图案参数的逆函数，并且其中所述机器学习模型的所述训练包括： 通过应用所述光学模型为每一组测量散射数据计算一组相应的模型图案参数，从而计算多组模型图案参数； 通过将所述光学模型应用于每一组相应的模型图案参数，计算多组模型散射数据，以生成一组相应的模型散射数据； 对于所述多组测量散射数据中的每一组，通过将所述一组测量散射数据、所述相应的模型图案参数和所述相应的模型散射数据组合成组合特征向量，来生成组合特征向量；以及 训练所述机器学习模型，以所述参考参数作为所述训练的所述目标特征，所述组合特征向量作为所述输入特征。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人诺威有限公司，其通讯地址为：以色列雷霍沃特；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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