信越化学工业株式会社岩崎凌获国家专利权
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龙图腾网获悉信越化学工业株式会社申请的专利氟化钇系喷涂被膜、喷涂构件及氟化钇系喷涂被膜的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114829667B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080088163.3，技术领域涉及：C23C4/04；该发明授权氟化钇系喷涂被膜、喷涂构件及氟化钇系喷涂被膜的制造方法是由岩崎凌;浜谷典明;谷口友悟设计研发完成，并于2020-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本氟化钇系喷涂被膜、喷涂构件及氟化钇系喷涂被膜的制造方法在说明书摘要公布了：通过对包含斜方晶系的YF33晶相、不含斜方晶系以外的YF33晶相的喷涂粉进行等离子体喷涂，制造包含斜方晶系的YF33晶相、不含斜方晶系以外的YF33晶相、维氏硬度为350以上的氟化钇系喷涂被膜。能够提供被膜硬度高、暴露于卤素系气体等离子体时产生的粒子量少的氟化钇系喷涂被膜，这样的喷涂被膜作为半导体制造工序中使用的半导体制造装置用构件中所形成的喷涂被膜优异。另外，根据本发明，能够高效率地制造这样的氟化钇系喷涂被膜。
本发明授权氟化钇系喷涂被膜、喷涂构件及氟化钇系喷涂被膜的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种氟化钇系喷涂被膜，其特征在于，包含斜方晶系的YF3晶相和氧氟化钇晶相，不含斜方晶系以外的YF3晶相，由归属于斜方晶系的YF3晶相的101面、020面及210面的衍射峰的半幅值、通过Williamson-Hall法所求出的平均微晶尺寸为5nm以上且40nm以下，维氏硬度为400以上。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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