盛吉盛半导体科技(北京)有限公司;盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司项习飞获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉盛吉盛半导体科技(北京)有限公司;盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司申请的专利一种硅反应装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114664706B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210289240.2，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种硅反应装置是由项习飞;田才忠;李士昌;王美玲设计研发完成，并于2022-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅反应装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种硅反应装置，包括腔体、硅晶圆以及多个进气部，硅晶圆设置于腔体的内部，多个进气部均设置于腔体的顶部，进气部的内壁被构造成弧面，进气部的内壁与硅晶圆具有相同的圆心，进气部的内壁上设置有多个进气孔。本发明能够提高硅反应装置内气体的均匀性分布。
本发明授权一种硅反应装置在权利要求书中公布了：1.一种硅反应装置，其特征在于，包括腔体、硅晶圆以及多个进气部，所述硅晶圆设置于所述腔体的内部，多个所述进气部均设置于所述腔体的顶部，所述进气部的内壁被构造成弧面，所述进气部的内壁与所述硅晶圆具有相同的圆心，所述进气部的内壁上设置有多个进气孔； 多个所述进气孔均具有相同的长度以及形状； 所述进气部的内壁的直径大于所述硅晶圆的直径； 多个所述进气孔均被构造成与所述腔体的顶部平面的角度大于0°且小于等于45°； 所述硅反应装置还包括上盖板，所述上盖板盖合于所述腔体的顶部，所述进气部固定在所述上盖板上； 所述硅反应装置还包括缓冲尾腔以及抽气管路，所述腔体的侧壁上设置有多个出气孔，多个所述出气孔分别通过所述抽气管路连通至所述缓冲尾腔； 所述硅反应装置还包括载台，所述载台设置于所述腔体的内部，所述硅晶圆放置于所述载台上，多个所述出气孔均设置在腔体侧壁的低于所述载台的水平高度的位置处。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盛吉盛半导体科技(北京)有限公司;盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司，其通讯地址为：102600 北京市大兴区北京经济技术开发区荣华南路15号院2号楼7层703室(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励