细美事有限公司李东穆获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利绝缘板及包括绝缘板的基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114566416B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111409104.4，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权绝缘板及包括绝缘板的基板处理装置是由李东穆;成珍一;金秀雄设计研发完成，并于2021-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本绝缘板及包括绝缘板的基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种利用等离子体的基板处理装置，该装置能够利用设置有气隙的绝缘板来控制蚀刻率。所述基板处理装置包括：腔室，包括用于利用等离子体来处理基板的处理空间；以及支承模块，位于所述处理空间内，并且用于支承所述基板，其中，所述支承模块包括：支承板，用于接收高频电力；以及绝缘板，布置在所述支承板的下部，并且包括面对所述支承板的第一表面，其中，所述第一表面上形成有至少一个第一凹槽。
本发明授权绝缘板及包括绝缘板的基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，包括： 腔室，包括用于利用等离子体来处理基板的处理空间；以及 支承模块，位于所述处理空间内，并且用于支承所述基板， 其中，所述支承模块包括： 支承板，用于接收高频电力；以及 绝缘板，布置在所述支承板的下部，并且包括面对所述支承板的第一表面，其中，所述第一表面上形成有至少一个第一凹槽， 其中，所述绝缘板还包括贯通孔，用于向所述支承板传输所述高频电力的杆贯通所述贯通孔； 所述绝缘板包括第一区域、位于所述第一区域的内侧的第二区域、以及设置在所述第一表面上并且围绕所述杆的侧表面的一部分的保护部， 所述至少一个第一凹槽形成在所述第二区域中，以及 所述第一区域的上表面和所述保护部的上表面比所述第一凹槽的底表面更靠近所述支承板，并且与所述支承板接触从而支承所述支承板， 所述第一凹槽包括彼此分开的多个第一部分凹槽，所述多个第一部分凹槽中的一些的厚度与另外一些的厚度不同。
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