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龙图腾网获悉圆益IPS股份有限公司申请的专利基板支撑组件及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114551330B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111312361.6，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权基板支撑组件及基板处理装置是由李炫宗;丁青焕;南镐振;李忠显;权渔真设计研发完成，并于2021-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板支撑组件及基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明的一实施例的基板支撑组件，包括：基座板，包括放置基板的至少一个基板放置部，并且形成有多条气体流动线路，所述多条气体流动线路用于向所述基板放置部供应漂浮气体、旋转气体及减速气体；至少一个环绕件，配置在所述至少一个基板放置部，并且上面放置所述基板，在背面形成旋转图案部，以用于从所述旋转气体及所述减速气体接收旋转力及制动力；其中，所述至少一个环绕件通过从所述至少一个基板放置部供应的漂浮气体在所述至少一个基板放置部漂浮，通过以正向旋转方向供应的所述旋转气体对于所述基座板进行相对旋转，以使所述基板自转，并且通过以逆向旋转方向供应的所述减速气体制动。

本发明授权基板支撑组件及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板支撑组件，包括： 基座板，包括放置基板的至少一个基板放置部，并且形成有多条气体流动线路，所述多条气体流动线路用于向所述基板放置部供应漂浮气体、旋转气体及减速气体； 至少一个环绕件，配置在所述至少一个基板放置部，并且上面放置所述基板，在背面形成动力传递图案，以用于从所述旋转气体及所述减速气体接收旋转力及制动力； 其中，所述至少一个环绕件通过从所述至少一个基板放置部供应的漂浮气体在所述至少一个基板放置部漂浮，通过以正向旋转方向供应的所述旋转气体对于所述基座板进行相对旋转，以使所述基板自转，并且通过以逆向旋转方向供应的所述减速气体制动， 所述动力传递图案包括具有对称形状的多个槽，所述多个槽形成在所述至少一个环绕件的背面的边缘部分， 所述多个槽各自包括一侧及相反的另一侧，由所述一侧接收从所述旋转气体传递的旋转力，由所述另一侧接收从所述减速气体传递的制动力， 在所述至少一个基板放置部上结合至少一个气体分配板，所述至少一个气体分配板分配从所述至少一个基板放置部供应的所述漂浮气体、所述旋转气体及所述减速气体来供应至所述至少一个环绕件； 所述至少一个气体分配板包括：漂浮气体孔，用于供应所述漂浮气体；至少一个旋转气体孔，以所述正向旋转方向倾斜形成，以供应所述旋转气体；及至少一个减速气体孔，以所述逆向旋转方向倾斜形成，以供应所述减速气体。

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