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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底洗净装置、衬底处理装置及衬底洗净方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114203583B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111079496.2，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权衬底洗净装置、衬底处理装置及衬底洗净方法是由筱原智之;冈田吉文;冲田展彬;加藤洋;筱原敬设计研发完成，并于2021-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本衬底洗净装置、衬底处理装置及衬底洗净方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底洗净装置、衬底处理装置及衬底洗净方法。本发明的第1衬底保持部保持衬底的外周端部。第2衬底保持部在第1衬底保持部下方的位置吸附保持衬底的下表面中央区域。下表面刷在与利用第1衬底保持部保持的衬底的下表面接触的位置、与下表面刷与利用第2衬底保持部保持的衬底的下表面接触的位置之间升降。第2衬底保持部及下表面刷设置在能够在水平方向移动的可动台座上。可动台座在下表面刷与衬底的下表面外侧区域对向的位置、与下表面刷与衬底的下表面中央区域对向的位置之间移动。洗净利用第1衬底保持部保持的衬底的下表面中央区域。这时，衬底的高度位置高于处理杯的上端部。洗净利用第2衬底保持部保持的衬底的下表面外侧区域。这时，衬底的高度位置低于处理杯的上端部。

本发明授权衬底洗净装置、衬底处理装置及衬底洗净方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底洗净装置，其具备： 第1衬底保持部，保持衬底的外周端部； 第2衬底保持部，在所述第1衬底保持部下方的位置吸附保持所述衬底的下表面中央部； 移动部，使所述衬底在所述第1衬底保持部与所述第2衬底保持部之间移动； 洗净具，与所述衬底的下表面接触来洗净所述衬底的下表面； 洗净具升降部，从下方支撑所述洗净具，且使所述洗净具在所述洗净具与利用所述第1衬底保持部保持的所述衬底的下表面接触的第1洗净高度位置、与所述洗净具与利用所述第2衬底保持部保持的所述衬底的下表面接触的第2洗净高度位置之间升降； 旋转驱动部，从下方支撑所述第2衬底保持部，且使所述第2衬底保持部绕上下方向的轴旋转； 台座部，以俯视下所述洗净具与所述第2衬底保持部相互分开的方式，支撑所述洗净具升降部及所述旋转驱动部；及 台座移动部，在利用所述第1衬底保持部保持所述衬底的状态下，使所述台座部在所述第2衬底保持部与所述衬底的所述下表面中央部对向且所述洗净具与包围所述衬底的所述下表面中央部的下表面外侧区域对向的第1水平位置、与所述第2衬底保持部与所述衬底的所述下表面外侧区域对向且所述洗净具与所述衬底的所述下表面中央部对向的第2水平位置之间移动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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