细美事有限公司郑智训获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114121718B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110973602.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置是由郑智训;金源根;郑映大;李智暎;金泰信设计研发完成，并于2021-08-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本公开提供了一种基板处理装置。该基板处理装置包括支承单元，该支承单元支承基板；以及加热单元，该加热单元将光束照射到基板并且加热基板；并且加热单元还包括照射光束的照射部和旋转光束的旋转部。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，所述基板处理装置包括： 支承单元，所述支承单元配置为支承基板；以及 加热单元，所述加热单元配置为将光束照射到所述基板并且加热所述基板， 其中，所述加热单元还包括： 照射部，所述照射部配置为照射所述光束；以及 旋转部，所述旋转部配置为旋转所述光束； 其中，所述旋转部包括： 柱面透镜，所述柱面透镜位于由所述照射部照射的所述光束的行进路径上，并且所述柱面透镜配置为是可旋转的； 其中，设置一对柱面透镜并且所述柱面透镜的旋转方向是相同的。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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