天通日进精密技术有限公司苏静洪获国家专利权
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龙图腾网获悉天通日进精密技术有限公司申请的专利硅棒研磨机和硅棒研磨方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113967868B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011112590.9,技术领域涉及:B24B27/00;该发明授权硅棒研磨机和硅棒研磨方法是由苏静洪;卢建伟;李鑫;钱春军;曹奇峰设计研发完成,并于2020-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅棒研磨机和硅棒研磨方法在说明书摘要公布了:本申请公开一种硅棒研磨机和硅棒研磨方法,其中,所述硅棒研磨机将粗磨装置与精磨装置分别设置在硅棒加工平台的第一加工区位与第二加工区位,设置有同时贯穿第一加工区位与第二加工区位的第一转移装置与第二转移装置,并为第一转移装置和第二转移装置均配置硅棒夹具与驱动机构,通过协调控制第一转移装置、第二转移装置与粗磨装置、精磨装置,使得在同一时刻所述硅棒研磨机粗磨装置与精磨装置均处于工作状态,在保持硅棒研磨机的尺寸规格与成本的基础上大幅提升研磨作业效率,缩减了研磨作业耗时,提升了经济效益。
本发明授权硅棒研磨机和硅棒研磨方法在权利要求书中公布了:1.一种硅棒研磨机,其特征在于,包括: 机座,具有硅棒加工平台;所述硅棒加工平台设有等待区位、第一加工区位以及第二加工区位; 硅棒装载装置,用于将待研磨的硅棒装载至等待区位;其中,位于等待区位上的硅棒的轴心线与预定中心线对齐;所述硅棒装载装置包括:硅棒承载结构,用于承载待研磨的硅棒;进给驱动机构,用于驱动所述硅棒承载结构及其承载的所述待研磨的硅棒沿进给方向移动至等待区位,所述进给方向与转移方向相正交; 第一转移装置,包括第一硅棒夹具、沿转移方向设置的第一转移导轨、以及用于驱动所述第一硅棒夹具及其夹持的硅棒沿着所述第一转移导轨移动并在等待区位、第一加工区位、以及第二加工区位之间转移的第一驱动机构;其中,所述第一硅棒夹具的夹持中心与预定中心线对齐; 第二转移装置,包括第二硅棒夹具、沿转移方向设置的第二转移导轨、以及用于驱动所述第二硅棒夹具及其夹持的硅棒沿着所述第二转移导轨移动并在等待区位、第一加工区位、以及第二加工区位之间转移的第二驱动机构;其中,所述第二硅棒夹具的夹持中心与预定中心线对齐; 粗磨装置,设于所述硅棒加工平台的第一加工区位处,用于对所述第一转移装置中第一硅棒夹具所夹持的硅棒或者所述第二转移装置中第二硅棒夹具所夹持的硅棒进行粗磨作业;以及 精磨装置,设于所述硅棒加工平台的第二加工区位处,用于对所述第一转移装置中第一硅棒夹具所夹持的硅棒或者所述第二转移装置中第二硅棒夹具所夹持的硅棒进行精磨作业;所述粗磨装置和所述精磨装置能同时处于工作状态,以对不同硅棒分别进行粗磨作业和精磨作业; 其中,所述第一转移装置和第二转移装置通过一安装框架设于所述硅棒加工平台的上方,或者,所述第一转移装置通过第一安装框架设于所述硅棒加工平台的上方且所述第二转移装置通过第二安装框架设于所述硅棒加工平台的上方。
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