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广东思沃精密机械有限公司王建勋获国家专利权

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龙图腾网获悉广东思沃精密机械有限公司申请的专利贴膜机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111710622B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910204889.8,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权贴膜机是由王建勋;谢军设计研发完成,并于2019-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。

贴膜机在说明书摘要公布了:本发明公开了一种贴膜机,其特征在于,包括贴膜装置、切膜装置、用于输送干膜的送膜机构、以及用于拉动干膜于贴膜装置移动至切膜装置的拉膜机构;拉膜机构包括拉膜固定座、拉膜滑动座、拉膜驱动组件、拉膜安装架、拉膜导辊、拉膜升降驱动件、以及拉膜压块。送膜机构将干膜输送至贴膜装置并位于晶圆的正上方,贴膜装置将干膜贴覆于晶圆表面使得晶圆与干膜粘接,拉膜机构将粘接有晶圆的干膜拉动至切膜装置,切膜装置沿晶圆的边界将多余的干膜切除,进而完成晶圆的贴膜,实现了干膜的自动输送、干膜的自动贴覆以及干膜的自动切割,实现了对晶圆进行贴膜处理,并将晶圆边界外的干膜切除的自动化以及连续性。

本发明授权贴膜机在权利要求书中公布了:1.贴膜机,应用于对晶圆的贴膜处理,其特征在于,包括贴膜装置、切膜装置、用于输送干膜的送膜机构、以及用于拉动干膜于所述贴膜装置移动至所述切膜装置的拉膜机构;所述拉膜机构包括拉膜固定座、与所述拉膜固定座滑动连接的拉膜滑动座、用于驱动所述拉膜滑动座移动的拉膜驱动组件、与所述拉膜滑动座相连的拉膜安装架、设于所述拉膜安装架的拉膜导辊、设于所述拉膜滑动座的拉膜升降驱动件、以及设于所述拉膜升降驱动件的输出端且与所述拉膜导辊相配合的拉膜压块;其中,所述拉膜压块靠近所述拉膜导辊的一侧的表面开设有与所述拉膜导辊相对应的拉膜凹槽;所述拉膜导辊设有与所述拉膜压块相接触的拉膜柔性件,所述拉膜柔性件为硅橡胶件; 所述贴膜装置包括贴膜支架、固定设于所述贴膜支架的第一贴膜台、设于所述第一贴膜台的压膜机构、与所述第一贴膜台相对设置的第二贴膜台、用于驱动所述第二贴膜台运动的贴膜升降驱动机构、以及设于所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间且用于锁紧所述第一贴膜台与所述第二贴膜台的锁紧组件; 所述贴膜装置还包括设于所述第二贴膜台且用于与所述第一贴膜台相接触的密封圈、以及用于对所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间进行抽真空的抽真空组件;所述抽真空组件包括真空泵、以及与所述真空泵相连的真空管;所述第一贴膜台和或所述第二贴膜台开设有与所述真空管相通的真空孔; 所述切膜装置包括切割台、切割组件、以及用于带动所述切割组件移动的移动驱动组件;所述切割台的中部设有真空吸盘,所述切割台开设有至少一个圆形的切割让位槽;所述切割组件包括与所述移动驱动组件的输出端相连的切割固定台、切刀组件、以及设于所述切割固定台且用于驱动所述切刀组件完成切割动作的切割驱动组件; 所述切割组件还包括设于所述切割驱动组件与所述切刀组件之间的安装板,所述切刀组件与所述安装板转动连接;所述切割组件还包括用于驱动所述切刀组件相对所述安装板转动的破膜驱动组件;所述切割组件在初始状态下,所述切刀组件向远离待切割产品的方向倾斜,且所述切刀组件位于所述干膜的上方且间隙较小;所述破膜驱动组件带动所述切刀组件向靠近待切割产品的方向转动,所述切刀组件转动过程具有水平及竖直方向的两个分运动,竖直分运动使得所述切刀组件将所述干膜切破并使得切刀组件的端部低于所述待切割产品,水平分运动使得所述切刀组件向靠近所述待切割产品的方向运动直至与晶圆的边界抵接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东思沃精密机械有限公司,其通讯地址为:523000 广东省东莞市松山湖高新科技产业园区研发一路1号A栋一楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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