江西兆驰集成科技有限公司;江西兆驰半导体有限公司李文浩获国家专利权
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龙图腾网获悉江西兆驰集成科技有限公司;江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种晶圆卡环盖板获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223810119U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422531957.0,技术领域涉及:H10P72/10;该实用新型一种晶圆卡环盖板是由李文浩;康龙;董国庆;文国昇;金从龙设计研发完成,并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆卡环盖板在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶元卡环盖板,晶圆卡环盖板包括至少部分嵌于载环孔内的卡环盖板组件,延伸出载环孔外的卡环盖板组件套接在两固定柱上,卡环盖板组件包括嵌于载环孔内的卡环件,以及设置在卡环件远离载环孔一侧的盖板件,卡环件包括两侧向外延伸出第一固定耳,第一固定耳上开设有用于套接在固定柱的第一装配孔,盖板件包括两侧向外延伸出第二固定耳,第二固定耳上开设有用于套接在固定柱上的第二装配孔,通过将第一装配孔和第二装配孔依次对准固定柱套入即可快速完成卡环件及卡环件上盖板件的安装,安装精准且便于快速安装。
本实用新型一种晶圆卡环盖板在权利要求书中公布了:1.一种晶圆卡环盖板,设置在镀锅上,所述镀锅上开设有多个用于容置所述晶圆卡环盖板的载环孔,靠近所述载环孔两侧向外延伸出固定柱,其特征在于,所述晶圆卡环盖板包括至少部分嵌于所述载环孔内的卡环盖板组件,延伸出所述载环孔外的所述卡环盖板组件套接在两所述固定柱上; 所述卡环盖板组件包括嵌于所述载环孔内的卡环件,以及设置在所述卡环件远离所述载环孔一侧的盖板件; 所述卡环件包括两侧向外延伸出第一固定耳,所述第一固定耳上开设有用于套接在所述固定柱的第一装配孔; 所述盖板件包括两侧向外延伸出第二固定耳,所述第二固定耳上开设有用于套接在所述固定柱上的第二装配孔; 所述卡环内侧内壁外形由顶部朝嵌入所述载环孔一侧逐渐减小的圆台状; 所述盖板件还包括与所述卡环件顶部抵靠的盖板,以及沿所述盖板远离所述卡环件一侧中心处向外延伸出的T型钉; 所述T型钉中心处贯穿有排气孔,通过所述排气孔以使所述盖板件盖合在所述卡环件顶部时将两者空间中气体排出,以使所述卡环盖板组件内气压压强与外界持平。
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