广东泰来封测科技有限公司何瀚获国家专利权
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龙图腾网获悉广东泰来封测科技有限公司申请的专利液体回收装置及设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223810117U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423119359.9，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型液体回收装置及设备是由何瀚;刘昆奇;朱茂林;付裕;钟寒设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本液体回收装置及设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种液体回收装置及设备，涉及半导体制造领域。该液体回收装置应用于晶圆开槽设备，所述晶圆开槽设备包括旋转载台。所述液体回收装置包括第一集液机构、送液组件以及回收机构。所述第一集液机构设置于所述旋转载台的外围，且所述第一集液机构的内径大于所述旋转载台的外径。所述送液组件的一端与所述第一集液机构连接，另一端与所述回收机构连接。本实用新型提供的液体回收装置，通过在晶圆开槽设备的旋转载台外围设置第一集液机构，并设置两端分别与第一集液机构和回收机构连接的送液组件，使得旋转载台上晶圆表面的保护液能够被第一集液机构收集，通过送液组件流入回收机构中。节约了保护液，并节省了晶圆开槽的成本。
本实用新型液体回收装置及设备在权利要求书中公布了：1.一种液体回收装置，其特征在于，应用于晶圆开槽设备02，所述晶圆开槽设备02包括旋转载台20；所述液体回收装置01包括第一集液机构10、送液组件11以及回收机构12； 所述第一集液机构10设置于所述旋转载台20的外围，且所述第一集液机构10的内径大于所述旋转载台20的外径； 所述送液组件11的一端与所述第一集液机构10连接，另一端与所述回收机构12连接。
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