浙江吉进科技有限公司王益海获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江吉进科技有限公司申请的专利一种晶圆的双面清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223810116U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422954728.X，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆的双面清洗装置是由王益海设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆的双面清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆的双面清洗装置，包括清洗箱，清洗箱内设有晶圆载盘、清洗辊、清洗液喷头、送料机构以及晶圆抓取翻转机构；晶圆载盘通过第一推动机构驱动水平移动，晶圆载盘上开设有晶圆槽；清洗辊通过第一升降机构设于晶圆载盘的上方，清洗辊通过驱动机构驱动转动；晶圆抓取翻转机构包括抓取臂，抓取臂的一端设有真空吸附盘，抓取臂的另一端转动安装于支架上，支架转动安装于第二升降机构上，第二升降机构安装于第二推动机构上，晶圆载盘开设有豁口；送料机构位于抓取臂的一侧方向，并延伸出清洗箱外，通过本实用新型可以将晶圆片在清洗箱内连续对两面进行清洗，无需将晶圆送进送出，减少了晶圆片被再次污染的风险。
本实用新型一种晶圆的双面清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的双面清洗装置，其特征在于，包括清洗箱1，所述清洗箱1内设有晶圆载盘5、清洗辊7、清洗液喷头9、送料机构以及晶圆抓取翻转机构； 所述晶圆载盘5通过第一推动机构驱动水平移动，所述晶圆载盘5上开设有与晶圆匹配的晶圆槽21； 所述清洗辊7通过第一升降机构设于晶圆载盘5的上方，所述清洗辊7通过驱动机构驱动转动； 所述喷头朝向清洗辊7的下方； 所述晶圆抓取翻转机构包括水平的抓取臂10，所述抓取臂10的一端设有朝下的真空吸附盘11，所述抓取臂10的另一端竖直转动安装于支架12上，所述支架12水平转动安装于第二升降机构上，所述第二升降机构安装于第二推动机构上，所述晶圆载盘5的一侧开设有穿过晶圆槽21的豁口22，所述豁口22竖直贯穿晶圆载盘5； 所述送料机构位于抓取臂10的一侧方向，并延伸出清洗箱1外。
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