芯禾科技(江苏)有限公司严彬获国家专利权
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龙图腾网获悉芯禾科技(江苏)有限公司申请的专利一种具有调节功能的半导体加工用加热盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223809920U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423199703.X，技术领域涉及：H05B3/02；该实用新型一种具有调节功能的半导体加工用加热盘是由严彬;秦铭洲设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有调节功能的半导体加工用加热盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种具有调节功能的半导体加工用加热盘，涉及半导体加热盘领域，包括加热盘主体，所述加热盘主体的内部安装有电阻丝，所述电阻丝的一端固定连接有温度控制器，所述加热盘主体的内部安装有中心温度传感器，所述加热盘主体的内部安装有边缘温度传感器，所述加热盘主体的底部安装有散热鳍片，通过启动温度控制器，可以使电阻丝发热，使热量通过加热盘主体的内部传导至加热盘主体的顶部，通过加热盘主体的内部固定连接有中心温度传感器，可以对加热盘主体的中心处温度进行实时监测，通过加热盘主体的内部固定连接有边缘温度传感器，可以对加热盘主体的边缘处温度进行实时监测，起到便于对加热盘主体进行控温调节的效果。
本实用新型一种具有调节功能的半导体加工用加热盘在权利要求书中公布了：1.一种具有调节功能的半导体加工用加热盘，包括加热盘主体1，其特征在于：所述加热盘主体1的内部安装有电阻丝2，所述电阻丝2的一端固定连接有温度控制器3，所述加热盘主体1的内部安装有中心温度传感器4，所述加热盘主体1的内部安装有边缘温度传感器5，所述加热盘主体1的底部安装有散热鳍片6； 所述加热盘主体1的外壁固定连接有石墨烯涂层7，所述石墨烯涂层7的外壁固定连接有氧化铝涂层8。
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