浙江求是创芯半导体设备有限公司曹建伟获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江求是创芯半导体设备有限公司申请的专利光路系统及应用该光路系统的离子注入机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223809108U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423321913.1，技术领域涉及：H01J37/317；该实用新型光路系统及应用该光路系统的离子注入机是由曹建伟;沈文杰;沈加富;李杰;佘垒;吴尽;汤承伟;彭建波;刘宏伟设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本光路系统及应用该光路系统的离子注入机在说明书摘要公布了：本申请公开了一种光路系统及应用该光路系统的离子注入机，该光路系统包括电离引出模块、筛选模块、扫描模块和加速准直模块；电离引出模块用于将中性原子与分子电离为离子，并引出由离子形成的束流；筛选模块用于筛选出束流中的目标离子；扫描模块用于修正由目标离子组成的目标离子束的方向，并聚焦或拓宽目标离子束；加速准直模块设置在扫描模块的下游，加速准直模块包括集成设置的准直单元和加速单元，准直单元设置在加速单元之前，准直单元聚焦目标离子束中发散的目标离子后，通过加速单元将目标离子加速至具有目标能量。通过上述设置，缩短了目标离子束在光路中的运动距离，在低速或低能条件下，降低目标离子束的流强损耗。
本实用新型光路系统及应用该光路系统的离子注入机在权利要求书中公布了：1.一种用于离子注入机的光路系统，其特征在于，包括： 电离引出模块11，用于将中性原子与分子电离为离子，并引出由所述离子形成的束流； 筛选模块12，用于筛选出所述束流中的目标离子； 扫描模块13，用于修正由所述目标离子组成的目标离子束的方向，并聚焦或拓宽所述目标离子束，使所述目标离子束处于设定的扫描范围以内；以及 加速准直模块14，所述加速准直模块14设置在所述扫描模块13的下游，所述加速准直模块14包括集成设置的准直单元141和加速单元142，所述准直单元141设置在所述加速单元142之前，所述准直单元141聚焦所述目标离子束中发散的所述目标离子后，通过所述加速单元142将所述目标离子加速至具有目标能量。
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