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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种中空阴极霍尔离子源结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223809105U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423099888.7，技术领域涉及：H01J27/02；该实用新型一种中空阴极霍尔离子源结构是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种中空阴极霍尔离子源结构在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种中空阴极霍尔离子源结构，包括中空阴极和阳极座，所述中空阴极包括箱体和阴极筒，所述阴极筒的中部设有钽管，所述钽管的输入端通过第一卡套接头与所述气路管的输出端连接，所述钽管的输出端对准阴极筒的发射端；通入氩气至气路管的输入端，所述第二通电管、第二连接板与气路管、阴极筒形成电路回路，氩气与钽管的热电子发生碰撞，产生电离，形成等离子体，离子体由于磁场的约束沿着磁力线向阳极加速运动形成离子束，增加了电离蒸发的高度，使得镀膜更均匀，所述钽管具有抗腐蚀性，使得电子与氩气的碰撞不会导致阴极表面的烧蚀和损耗，延长了中空阴极的寿命。

本实用新型一种中空阴极霍尔离子源结构在权利要求书中公布了：1.一种中空阴极霍尔离子源结构，包括中空阴极1和阳极座5，所述中空阴极1的一侧通过基座组件4与阳极座5连接，所述中空阴极1包括箱体2和阴极筒3，所述阴极筒3连接于箱体2上方，所述箱体2包括第一连接板21、第二连接板24、盖板27，其特征在于：所述第一连接板21与第二连接板24上下错位设置，所述盖板27盖设于第一连接板21与第二连接板24的两侧，所述第一连接板21的底部设有第一开孔211，通过第一通孔连接第一通电管22的输入端，所述第一通电管22的输出端通过第一连接块213连通阴极筒3的外壳51，所述第一连接板21的底部还设有第二开孔212，通过所述第二开孔212连接第二通电管23的输入端，所述第二通电管23的输出端通过第二连接块241连接所述第二连接板24的一端，使得所述第二连接板24带电，所述第二连接板24为倒L型，所述第二连接板24的倒L型的竖板与第一连接板21的一端之间设有间隙，第二连接板24的倒L型的横板与第一连接板21的顶部之间设有间隙，用于使得第二连接板24所带的电荷与第一连接板21隔绝，不易导致触电；所述第一连接板21的底部还设有第三开孔，所述第三开孔连接气路管25的输入端，所述气路管25的输出端穿过所述第二连接板24连接至阴极筒3内部，使得气路管25、阴极筒3带电；所述阴极筒3的中部设有钽管32，所述钽管32的输入端通过第一卡套接头33与所述气路管25的输出端连接，所述钽管32的输出端对准阴极筒3的发射端；通入氩气至气路管25的输入端，所述第二通电管23、第二连接板24与气路管25、阴极筒3形成电路回路，氩气与钽管32的热电子发生碰撞，产生电离，形成等离子体，离子体由于磁场的约束沿着磁力线向阳极加速运动形成离子束，增加了电离蒸发的高度，所述钽管32具有抗腐蚀性。

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