昆山新莱洁净应用材料股份有限公司黄文博获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山新莱洁净应用材料股份有限公司申请的专利一种用于半导体设备的调温装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223808668U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423318615.7，技术领域涉及：G05D23/20；该实用新型一种用于半导体设备的调温装置是由黄文博;聂敏设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体设备的调温装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种用于半导体设备的调温装置，涉及半导体设备温度调节领域，为了解决半导体厂存在有些工艺运行时设备耗能过高、导致设备运行能耗过高、设备电缆高温老化的问题，其包括注入管和排出管，所述注入管和排出管之间设置有启闭阀；介质经所述注入管流入后经启闭阀进入设备、并经设备后最终由排出管排出。本申请具有实现半导体设备的温度调节的效果。
本实用新型一种用于半导体设备的调温装置在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体设备的调温装置，其特征在于：包括注入管1和排出管2，所述注入管1和排出管2之间设置有启闭阀3；介质经所述注入管1流入后经启闭阀3进入设备、并经设备后最终由排出管2排出； 所述注入管1和排出管2之间设置有调节组件4，所述调节组件4包括分流管41，所述分流管41的一端与启闭阀3相连，另一端与排出管2相连； 所述排出管2与分流管41相连的一端设置有截流阀42，所述截流阀42的一端与排出管2相连，所述截流阀42与排出管2相对的另一端供介质排出，所述截流阀42的侧壁与分流管41连通，所述截流阀42与启闭阀3同步对分流管41实现启闭。
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