上海讯颖电子科技有限公司孙晓东获国家专利权
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龙图腾网获悉上海讯颖电子科技有限公司申请的专利一种光刻机晶圆衬底的对准机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223808632U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520454548.7，技术领域涉及：G03F9/00；该实用新型一种光刻机晶圆衬底的对准机构是由孙晓东;闻杰设计研发完成，并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机晶圆衬底的对准机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光刻机技术领域，公开了一种光刻机晶圆衬底的对准机构，包括机体，所述机体的内部安装有工作平台，所述工作平台的后侧固定连接有安装盒，所述机体的内部后侧左端安装有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有转动长杆，所述转动长杆的顶部左右端均固定连接有连接绳，两个所述连接绳的相远离一侧均固定连接有夹持板，所述夹持板的底部与所述工作平台的顶部滑动连接。本实用新型中，开启第二电机，转动长杆带动连接绳拉动夹持板滑动，夹持晶圆衬底，第一齿轮与第二齿轮啮合传动，带动双向螺纹杆转动，滑动方块滑动，风扇移动散热，通过上述工序，实现散热与夹持，提高效率。
本实用新型一种光刻机晶圆衬底的对准机构在权利要求书中公布了：1.一种光刻机晶圆衬底的对准机构，包括机体1，其特征在于：所述机体1的内部安装有工作平台17，所述工作平台17的后侧固定连接有安装盒26，所述机体1的内部后侧左端安装有第二电机18，所述第二电机18的输出端固定连接有转动长杆20，所述转动长杆20的顶部左右端均固定连接有连接绳21，两个所述连接绳21的相远离一侧均固定连接有夹持板22，所述夹持板22的底部与所述工作平台17的顶部滑动连接，两个所述夹持板22的相远离一侧前后端均固定连接有弹簧23，所述转动长杆20的外侧左端固定连接有第一齿轮28，所述安装盒26的内部转动连接有双向螺纹杆24，所述双向螺纹杆24的左侧固定连接有第二齿轮27，所述第二齿轮27的后侧与所述第一齿轮28的前侧啮合连接，所述双向螺纹杆24的外侧左右端均螺纹连接有滑动方块25，所述滑动方块25的顶部安装有风扇19，所述机体1的内侧顶部安装有清扫机构2，所述清扫机构2用于所述工作平台17表面的清扫。
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