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龙图腾网获悉苏州德睿科仪仪器设备有限公司申请的专利一种VUV平行光源光刻机设备的限位机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223808630U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520596360.6，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种VUV平行光源光刻机设备的限位机构是由邓源;黄俊辉设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种VUV平行光源光刻机设备的限位机构在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种VUV平行光源光刻机设备的限位机构，包括基座，基座顶端一侧连接设有安装座，安装座的顶端连接设有光照装置，基座顶端还设有第一移动机构，第一移动机构顶端连接设有承载座，承载座的顶端连接设有承载台，承载台的顶部中心处连接设有吸附平台，承载台上设有限位机构，限位机构包括真空泵、多管接口、真空管，承载台的下部四周侧面处设有第一通孔，真空管与第一通孔连接，承载台的顶端中心处设有开口向上的凹槽，吸附平台与凹槽卡接，吸附平台的顶面设有开口向上的放置槽，放置槽的底部设有第二通孔，放置槽内连接设有微孔陶瓷板，通过设有限位机构电路板不会晃动，位置不发生偏移，进而使得电路板在曝光时，曝光程度好。

本实用新型一种VUV平行光源光刻机设备的限位机构在权利要求书中公布了：1.一种VUV平行光源光刻机设备的限位机构，包括基座10，所述基座10顶端一侧连接设有安装座20，所述安装座20的顶端连接设有光照装置30，所述光照装置30包括上箱体301和下箱体302，所述上箱体301内设有电源组件，所述下箱体302内设有灯源组件，所述下箱体302的底部中心处设有照射窗口40，且所述灯源组件置于所述照射窗口40的正上方，所述基座10顶端还设有第一移动机构50，所述第一移动机构50的底端两侧连接设有第一滑块60，所述基座10顶端设有与所述第一滑块60匹配的第一滑轨70，所述第一移动机构50与所述基座10滑动连接，所述第一移动机构50顶端连接设有承载座80，所述承载座80的顶端连接设有承载台90，所述承载台90的顶部中心处连接设有吸附平台100，所述吸附平台100用于放置涂有光刻胶的电路板，其特征在于：所述承载台90上设有用于限制电路板移动的限位机构，所述限位机构包括真空泵、多管接口110、真空管120，所述真空泵置于所述基座10内，所述多管接口110与所述承载座80的一侧连接，所述真空管120与所述承载座80的连接，所述真空泵的输出端与所述多管接口110的输入端连通，所述多管接口110的输出端与所述真空管120的输入端连接，所述承载台90的下部四周侧面处均设有第一通孔130，所述真空管120的输出端与所述第一通孔130连接，所述承载台90的顶端中心处设有开口向上的凹槽140，所述第一通孔130与所述凹槽140连通，所述吸附平台100与所述凹槽140卡接，所述吸附平台100的顶面设有开口向上的放置槽150，所述放置槽150的底部设有第二通孔160，使得所述第一通孔130与所述凹槽140、所述第二通孔160相连通，所述放置槽150内连接设有微孔陶瓷板170，所述微孔陶瓷板170的顶部放置电路板。

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