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龙图腾网获悉苏州德睿科仪仪器设备有限公司申请的专利一种VUV平行光源光刻机设备的调节装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223808629U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520596310.8，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种VUV平行光源光刻机设备的调节装置是由邓源;黄俊辉设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种VUV平行光源光刻机设备的调节装置在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种VUV平行光源光刻机设备的调节装置，包括基座，基座顶端一侧连接设有安装座，安装座的顶端连接设有光照装置，光照装置包括上箱体和下箱体，下箱体的底部中心处设有照射窗口，基座顶端还设有第一移动机构，第一移动机构与基座滑动连接，第一移动机构顶端连接设有承载座，承载座的顶端连接设有承载台，承载台的顶部中心处连接设有吸附平台，承载座内设有调节装置，调节装置包括四轴位移台，四轴位移台的底端与第一移动机构连接，四轴位移台的顶端连接设有转接件，转接件的顶端连接承载台，承载台的底端连接设有卡固件，通过四轴位移台实现承载台XYZR四维度的调节，通过调节装置，电路板能准确地置于照射窗口内，曝光效果提高。

本实用新型一种VUV平行光源光刻机设备的调节装置在权利要求书中公布了：1.一种VUV平行光源光刻机设备的调节装置，包括基座10，所述基座10顶端一侧连接设有安装座20，所述安装座20的顶端连接设有光照装置30，所述光照装置30包括上箱体301和下箱体302，所述上箱体301与所述下箱体302连接，所述上箱体301内设有电源组件，所述下箱体302内设有灯源组件，所述下箱体302的底部中心处设有照射窗口40，且所述灯源组件置于所述照射窗口40的正上方，所述基座10顶端还设有第一移动机构50，所述第一移动机构50的底端两侧连接设有第一滑块60，所述基座10顶端设有与所述第一滑块60匹配的第一滑轨70，所述第一移动机构50与所述基座10滑动连接，所述第一移动机构50顶端连接设有承载座80，所述承载座80的顶端连接设有承载台90，所述承载台90的顶部中心处连接设有吸附平台100，所述吸附平台100用于放置涂有光刻胶的电路板，其特征在于：所述承载座80内设有调节装置220，所述调节装置220包括四轴位移台230，所述四轴位移台230的底端与所述第一移动机构50连接，所述四轴位移台230的顶端连接设有转接件240，所述转接件240的顶端连接所述承载台90，所述承载台90的底端连接设有卡固件310，所述卡固件310的底部与转接件240的上部卡接，通过所述四轴位移台230实现所述承载台90XYZR四维度的调节。

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