上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司刘澄溦获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利一种标准片获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223808625U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520489728.9，技术领域涉及：G03F1/44；该实用新型一种标准片是由刘澄溦;王梦知;张政;段振红;李潇汉设计研发完成，并于2025-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种标准片在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种标准片，应用于掩模基板入场检测技术领域，包括：掩模版；掩模版表面设置有颗粒单元阵列；颗粒单元阵列包括至少两个颗粒单元；每个颗粒单元包括至少两个颗粒阵列，且颗粒阵列沿第一方向依次排布；每个颗粒阵列包括至少两个颗粒；每个颗粒阵列中的所有颗粒的粒径相同，且对于同一颗粒单元内沿第一方向的各颗粒阵列，其颗粒的粒径依次增大。可直接得到明确的标准，不需要通过机台检测去确定，不会因机台检测能力误差，而导致标准片的标准产生误差；可覆盖更广泛的技术节点；提高了重复性，可防止制作过程中的局部失败从而导致尺寸缺少，可防止标准片使用中的局部检测误差影响整体结果；可支持多次清洗，能够长时间连续使用。
本实用新型一种标准片在权利要求书中公布了：1.一种标准片，其特征在于，包括：掩模版；所述掩模版表面设置有颗粒单元阵列；所述颗粒单元阵列包括至少两个颗粒单元；每个所述颗粒单元包括至少两个颗粒阵列，且所述颗粒阵列沿第一方向依次排布；每个所述颗粒阵列包括至少两个颗粒；每个所述颗粒阵列中的所有所述颗粒的粒径相同，且对于同一所述颗粒单元内沿所述第一方向的各所述颗粒阵列，其所述颗粒的粒径依次增大。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，其通讯地址为：201807 上海市嘉定区娄陆公路497号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励