苏州感测通信息科技有限公司张可获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州感测通信息科技有限公司申请的专利梁和锚点在结构内侧的加速度计获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223808470U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520121246.8,技术领域涉及:G01P15/125;该实用新型梁和锚点在结构内侧的加速度计是由张可设计研发完成,并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本梁和锚点在结构内侧的加速度计在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种梁和锚点在结构内侧的加速度计,包括衬底层和器件层;衬底层所在平面为XY平面;可动质量块分别通过第一弹性梁单元、第二弹性梁单元、第三弹性梁单元、第四弹性梁单元与上边框和下边框连接;上边框和下边框通过第一锚点和第二锚点与衬底层连接;第一弹性梁单元与第三弹性梁单元之间、第二弹性梁单元与第四弹性梁单元之间分别通过平行于X轴的第一耦合梁单元和第二耦合梁单元连接;检测电容结构连接在衬底层与可动质量块之间;可动质量块沿X轴方向运动时,检测电容结构的电容值发生变化,以此实现加速度检测,以此提供一种在加速度计灵敏度较大情况下,也能有较好的动态输出稳定性的加速度计。
本实用新型梁和锚点在结构内侧的加速度计在权利要求书中公布了:1.一种梁和锚点在结构内侧的加速度计,其特征在于,包括衬底层和器件层; 所述衬底层所在的平面为XY平面,所述器件层位于所述衬底层的上方; 所述器件层包括第一锚点、第二锚点、上边框、下边框、可动质量块、第一弹性梁单元、第二弹性梁单元、第三弹性梁单元、第四弹性梁单元、第一耦合梁单元、第二耦合梁单元、检测电容结构; 所述可动质量块的中部上下两侧依次开设有对称的第一缺口和第二缺口; 所述第一弹性梁单元和所述第三弹性梁单元依次在所述第一缺口的左侧和所述第一缺口的右侧,将所述可动质量块与所述上边框连接; 所述第二弹性梁单元和所述第四弹性梁单元依次在所述第二缺口的左侧和所述第二缺口的右侧,将所述可动质量块与所述下边框连接; 所述上边框和所述下边框分别通过所述第一锚点和所述第二锚点与所述衬底层连接; 所述第一弹性梁单元与所述第三弹性梁单元之间、所述第二弹性梁单元与所述第四弹性梁单元之间分别通过平行于X轴的位于所述第一缺口的所述第一耦合梁单元和位于所述第二缺口的所述第二耦合梁单元连接; 所述第一耦合梁单元位于所述第一锚点的上侧; 所述第二耦合梁单元位于所述第二锚点的下侧; 所述检测电容结构在所述可动质量块上分布的窗口区域锚定在所述衬底层上,并与所述可动质量块连接; 所述可动质量块在沿X轴方向运动时,所述检测电容结构的电容值发生变化,以此实现对加速度的检测。
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