浙江百盛光电股份有限公司陈跃华获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江百盛光电股份有限公司申请的专利一种玻璃晶圆厚度变化检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223807821U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520064458.7，技术领域涉及：G01B11/06；该实用新型一种玻璃晶圆厚度变化检测装置是由陈跃华;彭从锋;卜志超;马明阳设计研发完成，并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种玻璃晶圆厚度变化检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种玻璃晶圆厚度变化检测装置，涉及工业产品测试设备领域，包括支撑主体，支撑主体上顶面设置有放片平台组，所述放片平台组上设置有晶片，所述放片平台组一侧设置有悬臂，所述悬臂顶端一侧设置有光线处理装置，所述光线处理装置设置于放片平台组上方。本实用新型通过激光器由调节滑轨固定在支撑杆上，激光经扩束镜组和分光镜片处理后投射到晶片，扩束镜组确保光线均匀且合适角度入射，分光镜片精准分离光线。这一设计使光线折射精准，反射光干涉条纹清晰稳定，从而精确测定晶片厚度变化，大幅提升检测精度，满足高端制造对晶圆精度的严格要求。
本实用新型一种玻璃晶圆厚度变化检测装置在权利要求书中公布了：1.一种玻璃晶圆厚度变化检测装置，包括支撑主体1，其特征在于：支撑主体1上顶面设置有放片平台组7，所述放片平台组7上设置有晶片6，所述放片平台组7一侧设置有悬臂2，所述悬臂2顶端一侧设置有光线处理装置5，所述光线处理装置5设置于放片平台组7上方，所述光线处理装置5包括支撑杆12，所述支撑杆12上滑动设置有调节滑轨11，所述调节滑轨11一侧设置有夹爪14，所述夹爪14内夹持有激光器10。
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