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龙图腾网获悉西南交通大学申请的专利一种晶圆真空夹紧旋转装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223798682U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520294128.7，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型一种晶圆真空夹紧旋转装置是由陈磊;徐可可;缑洪遴;雒春升;钱林茂设计研发完成，并于2025-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆真空夹紧旋转装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆真空夹紧旋转装置，包括旋转吸盘、十字转台、旋转主轴、升降圆台、晶圆支架爪、升降圆台支撑柱、伸缩电动气缸、上安装板、下安装板、侧板、电机和通气装置，所述旋转吸盘与十字转台通过螺钉连接固定，十字转台与旋转主轴通过螺钉连接固定。所述晶圆支架爪与升降圆台通过螺钉连接固定，升降圆台与升降圆台支撑柱通过螺钉连接固定，升降圆台支撑柱与伸缩电动气缸通过螺纹连接，伸缩电动气缸与下安装板通过螺钉连接固定。所述通气装置与下安装板通过螺钉连接固定，上安装板、下安装板与侧板通过螺钉连接固定，电机与下安装板通过螺钉连接固定，电机通过传动装置与旋转主轴相连，并通过旋转主轴带动旋转吸盘转动。

本实用新型一种晶圆真空夹紧旋转装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆真空夹紧旋转装置，其特征在于：包括旋转吸盘201、十字转台202、旋转主轴203、升降圆台204、晶圆支架爪205、升降圆台支撑柱206、伸缩电动气缸208、上安装板209、下安装板210、侧板211、电机216和通气装置217，所述旋转吸盘201与十字转台202通过螺钉连接固定，十字转台202与旋转主轴203通过螺钉连接固定；所述晶圆支架爪205与升降圆台204通过螺钉连接固定，升降圆台204与升降圆台支撑柱206通过螺钉连接固定，升降圆台支撑柱206与伸缩电动气缸208通过螺纹连接，伸缩电动气缸208与下安装板210通过螺钉连接固定；所述通气装置217与下安装板210通过螺钉连接固定，上安装板209、下安装板210与侧板211通过螺钉连接固定，电机216与下安装板210通过螺钉连接固定，电机216通过传动装置与旋转主轴203相连，并通过旋转主轴203带动旋转吸盘201转动。

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