杭州富芯半导体有限公司李朗朗获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州富芯半导体有限公司申请的专利一种太鼓撕膜工作台及装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223798681U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423250729.2，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型一种太鼓撕膜工作台及装置是由李朗朗;马武海;尹前设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种太鼓撕膜工作台及装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种太鼓撕膜工作台及装置，太鼓撕膜工作台包括台本体、环形吸附件、阀以及流量监测元件；环形吸附件设在台本体上，并与台本体共同限定出充气空间；台本体上设有进气通道和出气通道，进气通道连通充气空间与外部空间；出气通道处设有阀，阀在预设条件下开启以使充气空间通过出气通道与外部空间连通；流量监测元件设在阀处。撕膜时，环形吸附件吸附晶圆，一气源提供的检测气经进气通道进入充气空间，当阀开启时，若晶圆未破裂，从阀流出的检测气的流量不低于预设值，若晶圆破裂，因部分检测气从晶圆的裂缝处泄露导致从阀流出的检测气的流量低于预设值，因此通过流量监测元件监测从阀流出的检测气的流量，能判断晶圆是否发生破裂。
本实用新型一种太鼓撕膜工作台及装置在权利要求书中公布了：1.一种太鼓撕膜工作台，其特征在于，包括： 环形吸附件； 台本体，承载所述环形吸附件；所述台本体与所述环形吸附件的内侧面共同限定出充气空间；所述台本体上设置有进气通道和出气通道；所述进气通道连通所述充气空间与外部空间； 阀，设置在所述出气通道处，并被配置为在预设条件下开启，以使得所述充气空间通过所述出气通道与外部空间连通；以及， 流量监测元件，设置在所述阀处。
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